판매용 중고 VARIAN 8010 #9068893

VARIAN 8010은 반도체 및 기타 첨단 장치 제작에 사용되는 고에너지 이온을 정확하게 처리하도록 설계된 이온 임플랜터 (ion implanter) 및 모니터입니다. "이온 '은 반도체" 웨이퍼' 와 같은 기판 재료 에 주입 되어 전도층 의 원하는 "패턴 '을 만든다. 8010 은 제조 에 중요 한 도구 로서, 주사 된 "이온 '의 용량 을 정확 히 조절 한다. VARIAN 8010에는 이온 소스와 2 개의 정밀 이온 이식 시스템이 포함됩니다. 이온 소스는 기질의 오염 물질을 이식하는 데 사용되는 고 에너지 이온 (high-energy ion) 을 제공한다. 2 개의 이식 시스템에는 가속기 (accelerator) 와 감속기 (decelerator) 가 포함되며, 이온이 기판 재료에 도달하기 전후의 이온 속도를 제어합니다. "가속기 '는" 이온' 의 속도 를 높은 속도 로 향상 시키는 반면 감속기 는 "이온 '의 속도 를 늦춘다. "모니터 '8010 은 정확 하고 미리 정해진 용량 이 기판 에 전달 되도록 설계 되었다. 그것 은 여러 가지 "센서 '와 탐지기 를 사용 하여 전달 되는" 이온' 의 양 을 측정 한다. 또한 모니터는 전원 공급 전압 (Power Supply voltage), 프로세스 전류 (Process current) 및 기판에 노출되는 용량 (exposure dose to the substrate) 을 포함하여 이식 프로세스의 현재 조건에 대한 정보를 제공합니다. 이 정보는 운영자가 전달되는 용량이 기판에 정확하고 적합한지 확인하는 데 도움이 됩니다. 바리안 8010 (VARIAN 8010) 에는 이온 이식 (ion implantation) 과 관련된 잠재적 인 위험으로부터 기판 재료와 연산자를 모두 보호하도록 설계된 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 방사선, 과전압, 과온 및 과압에 대한 보호가 포함됩니다. 알람 (alarm) 및 자동 종료 (automatic-off) 와 같은 여러 진단 도구가 포함되어 있어 위험 (implantation) 과정과 관련된 잠재적 문제를 감지합니다. 결론적으로, 8010은 고정밀 이온 임플란터이며, 다양한 첨단 장치 제작 프로세스에 사용되는 고에너지 이온을 안전하고 정확하게 전달하도록 설계된 모니터입니다. 이온 소스 (ion source), 임플란테이션 시스템 (implantation system), 모니터링 도구 (monitoring tools) 의 조합을 사용하여 기판에 전달되는 이온의 용량을 안정적으로 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 기판과 운영자 모두의 안전을 보장하는 다양한 안전 (safety) 기능도 갖추고 있습니다.