판매용 중고 VARIAN 5394001 #9260504

VARIAN 5394001은 집적 회로의 고급 제작에 사용하도록 설계된 고성능 이온 임플랜터 (ion implanter) 및 모니터입니다. 이 장치에는 고급 컨트롤 및 모니터 (예: 20 채널 디지털 I/O 컨트롤러) 가 통합되어 임플란트 전류, 전압, 에너지에 대한 정확하고 예측 가능한 제어가 가능합니다. 이 장비 는 또한 "이온 '착상 과정 중 에" 임플란트' 의 "가스 '압력 의 분배 를 감시 하고 측정 하도록 설계 되었다. 5394001은 시장에서 최적화된 성능을 위해 많은 기능을 통합합니다. 여기에는 소스 유형 음극, 다중 카세트 이온 소스, 이온 빔 게이트, 스캔 플랫폼, 다중 축 스캐너 등 일련의 개별 프로세스 구성 요소가 포함됩니다. 또한, 시스템은 다양한 개선 된 조향 기능의 이온 종을 전환하도록 구성 될 수있다. 고정밀 XYZ 스테이지는 작동 속도가 6 인치이며 다중 위치 Wafer Implanting에 뛰어난 안정성을 제공합니다. VARIAN 5394001의 추가 기능에는 일관되고 예측 가능한 임플란트 프로세스 결과를 보장하는 자동 조정 기술이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 Chamber Gas Analysis Machine, Chamber Performance Monitor 및 Training and Operator Management Tool과 같은 고급 진단 도구가 포함되어 있습니다. 5394001 은 통합 소프트웨어 및 하드웨어와 함께 동급 최고의 모니터링 기능을 제공합니다. 자가 조정 (auto-tune) 기술은 복잡한 제어 플랫폼과 연계되어 사용자에게 임플란트 작업 (implant job) 과 우수한 임플란트 결과 (implant result) 를 효과적으로 제어할 수 있도록 지원합니다. 이 자산은 온도 안정성, 균일성, 반복성 측면에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. VARIAN 5394001은 고급 집적 회로 제작에 이상적인 안정적이고 견고한 모델입니다. 이 이온 임플랜터 및 모니터는 탁월한 성능, 정확성과 더불어 뛰어난 모니터링 기능을 제공합니다. 고급 컨트롤 및 모니터와 자동 조정 (auto-tune) 및 진단 (diagnostic) 기능을 통해 동급 최고 수준의 이온 임플란테이션 성능을 제공할 수 있습니다.