판매용 중고 VARIAN 350DE #9104473
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ID: 9104473
Ion implanter
Includes:
H0797001
H7436001
(2) 951-5210
F5408001
EF5354-1
(4) 04215
109121001
04726001
D4 0698-2
D 70381-1
D H0656-1
Vacuum Ionization Gauge 582
DF 5487-1
1000dd-350
H1993001
(2) H1464-1
0951521000
DH 1012
115139001
CryoTorr 8 8033167
H0105-1
H1051-1
H0897-1
H108001
H359400
(2) H0258-1
H1107-1
H1373001
F0746001
H1349001
PH7486-1
PH7486-2.
바리안 350DE (VARIAN 350DE) 는 반도체 칩의 전자 회로 제작에 사용하도록 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. "이온 '은 다양 한" 이온' "에너지 '와 용량 전달 을 통하여 매우 정밀 한 수준 으로" 이온' 을 이식 할 수 있다. 고급 전기계 (Advanced Electrometer) 및 모니터 (Monitor) 장비를 통해 사용자가 이식 절차의 전체 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 일련의 안전 연동 장치 (Safety Interlock) 가 있어 사용자 안전을 보장하고 우발적 입자 노출을 방지합니다. 350DE 임플란터는 일련의 고전압 이온화 그리드를 사용하여 꾸준한 이온 빔을 생성합니다. 그런 다음, 이 광선 은 가속 전압 을 가진 단단한 광선 에 집중 된다. 그런 다음, 집중된 빔은 특정 오프닝 크기와 모양을 가진 일련의 조리개 (aperture) 를 통과하여 정확한 임플란테이션을 보장합니다. 균일 한 용량의 전달을 보장하기 위해, 각 이온화 격자 (ionizing grid) 의 전압을 조정하여 균일 한 빔을 제공 할 수 있습니다. VARIAN 350DE의 통합 전기계와 모니터 시스템 (Integrated Electrometer and Monitor System) 을 통해 전체 이식 절차를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 프로세스 중 여러 시점에 전압, 전류, 온도, 빔 강도에 대한 자세한 로그를 제공합니다. 이 장치는 또한 각 웨이퍼 (wafer) 에 이식 된 입자 수와 전달되는 총 용량을 모니터링합니다. 이를 통해 사용자는 최적의 성능을 위해 매개 변수 설정을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 350DE 임플란터는 또한 사용자 보호를위한 일련의 안전 연동이 특징입니다. 이러한 연동 장치 (interlock) 는 전원 서지 시 장치를 종료하고 기계의 전원을 끕니다. 이 장치는 또한 비상용 (Emergency Off) 스위치를 갖추고 있어 장치를 즉시 중지하고 공구에 전원을 공급합니다. 또한, 이 장치에는 응급 배기 환기 자산 (emergency exhaust ventilation asset) 이 장착되어 있어 오작동시 유해 물질을 안전하게 통풍합니다. VARIAN 350DE는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 및 모니터입니다. 고급 기능과 안전 연동 장치 (Safety Interlock) 는 이식 프로세스가 효율적이고 안전하게 수행되도록 합니다. 통합 전기계 (Electrometer) 및 모니터 (Monitor) 모델은 전체 프로세스에 걸쳐 자세한 피드백을 제공하여 사용자가 최적의 성능을 위해 설정을 세밀하게 조정할 수 있도록 합니다.
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