판매용 중고 VARIAN 300XP #9395137
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ID: 9395137
빈티지: 1995
Ion implanter, 6"
PC Included
Pumps:
VARIAN Diffusion pump
(3) CT8 Cryo pumps
(3) VARIAN 2012 Oil pumps
Pressure:
Incoming CDA: 100 psi
N2: 20 psi
Gas: (4) Toxic MFC Controlled systems
Power supplies:
Extraction PS: GLASSMANN with external stack
Accel HV: GLASSMANN
Power: 208 VAC, 32 kVA
CE Marked
1995 vintage.
VARIAN 300XP는 최첨단 이온 임플란터이며 반도체 처리를 위해 반복 가능한 이식 프로세스를 제공하도록 설계된 모니터입니다. 탁월한 신뢰성, 높은 처리량, 탁월한 정확성을 자랑하는 VARIAN 300 XP는 칩 제작에 필요한 임플랜테이션을 위한 최고의 선택입니다. 300XP는 강력한 800 MeV, 5 mA.Dynamic Ion Beam 및 특허 된 저에너지 백래시 (LEB) 기술을 제공합니다. 이러한 기능은 균일 한 임플란트 프로파일과 높은 정확도를 제공하며, 빔 분수는 4 미크론까지 작습니다. 조밀 한 반점 크기 를 처리 하고, "웨이퍼 '를 가로질러" 빔' 을 주사 하는 능력 은 그 보다 우월 한 반복성 을 갖게 한다. 이 장비는 거친 환경에서도 빔 출력을 적극적으로 안정화하는 트리오 마그넷 디드 리프트 (trio-magnet dedrift) 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 HMI (Human Machine Interface) 디스플레이, 실시간 레시피 및 사용자 프로그래밍 가능한 실행 종료 레시피 제어를 갖춘 고급 제어 장치를 자랑합니다. 이를 통해 기계의 쉽고 정확한 작동이 가능합니다. 300 XP 프로세스 모니터는 정확한 매개 변수 제어 및 긴 임플란트를 제공합니다. 모니터의 통합 분광계 (Integrated Spectrometer) 는 웨이퍼 카메라 (Wafer Camera) 및 실시간 실행 종료 (End-of-Run) 분석과 함께 해당 임플란트 프로세스에 대한 정확하고 상세한 검사를 제공합니다. 이 외에도, 이 도구는 놀라운 안전 (Safety) 및 환경 기능을 갖추고 있으며, 손상이나 오염의 위험없이 효율적으로 작동할 수 있습니다. VARIAN 300XP는 칩 제작자가 발전하는 업계 요구에 부응하도록 설계되었습니다. 이것은 컴팩트한 디자인, 낮은 전력 소비량, 사용자 친화적인 성능을 통해 달성됩니다. 그 정확성과 반복성, 운영자 인터페이스 (operator interface) 는 안정적이고 효율적인 이온 임플랜터 (ion implanter) 와 모니터 (monitor) 를 찾는 사람들에게 완벽한 선택입니다.
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