판매용 중고 VARIAN 3000 #9211285

VARIAN 3000 (VARIAN 3000) 은 반도체 웨이퍼에 안정적이고 정확한 임플랜테이션을 제공하기 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 이온 빔 (ion beam) 기술을 사용하여 통제 된 양의 도펀트 요소를 웨이퍼 기판에 이식하여 재료에 원하는 전기 특성을 만듭니다. 이 장치는 정확한 이식 매개 변수를 허용하여이 기계가 반도체 제조 산업에 이상적입니다. 3000은 이온 빔 임플란터와 모니터 유닛의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 이온 빔 임플란터 (ion beam implanter) 는 이온 빔을 생성하여 웨이퍼 표면에 전달하는 역할을 한다. 그것 은 전자석 과 일련 의 시조기 의 결합 을 이용 하여 "빔 '의 방향 과 크기 를 조절 한다. 그런 다음 빔은 웨이퍼 (wafer) 표면에 초점을 맞추고 정확하게 제어 된 에너지 수준에서 그것을 향해 가속됩니다. 이를 통해 통제 된 양의 도펀트 (dopant) 요소를 이식하여 재료 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. VARIAN 3000 모니터는 빔 매개변수를 모니터링하고 이식된 영역을 스캔합니다. 그것 은 "커패시턴스 '와 전압 주사 를 이용 하여 이식 되는" 웨이퍼' 의 면적 을 측정 하고 원하는 전기적 특성 을 달성 하도록 한다. 이를 통해 빠르고 신뢰할 수있는 이식 프로세스가 가능합니다. 모니터는 또한 컨트롤러 (controller) 를 통해 임플란테이션 매개변수를 최적화하고 반복 가능하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 3000 은 효율성과 정확성을 향상시키도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 통합 냉각 도구 (Integrated Cooling Tool) 는 민감한 회로의 손상을 방지하고 운영 수명을 연장하여 사용 기간을 연장합니다. 자산도 구성 가능합니다. 특정 고객 요구사항에 맞게 조정할 수 있으며, 결과를 최적화하기 위해 매개변수를 빠르고, 쉽게 조정할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 모델에는 설치된 부품에 대한 우발적이거나 위험한 손상을 방지하는 포괄적인 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3000은 안정성과 정확성을 위해 설계된 고급 이온 빔 임플란터 (ion beam implanter) 및 모니터 장비입니다. 반도체 업계에 적합한 고급 기능 (Advanced Featurability) 과 구성성 (Configurability) 을 통해 웨이퍼 표면을 정확하고 반복적으로 임플랜테이션하고 모니터링할 수 있습니다.