판매용 중고 VARIAN 180XP #9404418

VARIAN 180XP는 반도체 제조 공정에 사용되는 이온 임플란터 및 모니터 유형입니다. 기판 임플란테이션을 단순화하고, 정확한 제어를 가능하게 하는, 신뢰할 수 있는 사용자 친화적인 장치입니다. 이것은 도핑, 증착, 도핑 분석과 같은 응용 분야에 이상적인 선택입니다. VARIAN 180 XP에는 내장형 고속 이온 모니터 (최적화된 이온 전송에 적극적으로 최적화된 전기 전위) 가 있습니다. 또한, 이 장치는 통합 된 전자 및 이온 렌즈 세트를 사용하여 광범위한 전류에 대한 향상된 임플랜터 성능을 제공합니다. 이러한 렌즈를 사용하여 180XP는 크고 작은 스팟 크기를 모두 달성 할 수 있습니다. 또한, 임플란트의 빔 프로파일에 의해 형성된 패턴을 정확하게 정의 할 수 있습니다. 180 XP에는 다양한 노출 및 에너지에서 고품질의 이온 (ion) 을 제공 할 수있는 정밀 이온 수송 장치 (precision ion transport unit) 가 있습니다. 전자 빔 에너지는 최대 10kV로 조정 할 수 있습니다. 또한, VARIAN 180XP는 버스트 모드 (burst mode), 반복 임플란트 모드 (repetitive implant mode) 및 원하는 용량을 배치하는 가장 적절한 이온 종을 선택하는 기능을 가지고 있습니다. 이것은 정확한 제어가 필요한 응용 프로그램에 이상적인 옵션입니다. 또한, VARIAN 180 XP는 상해 대기로부터 진공 챔버를 보호하는 고급 가스 구동 빔 패널을 갖추고 있습니다. 이것은 전자가 목표 영역을 탈출하고 인근 구성 요소에 원치 않는 오염을 퇴적시키는 것을 방지합니다. 이 장치는 PC 기반 인터페이스와 통합되어 사용자에게 제어, 데이터 수집, 데이터 분석 기능을 제공합니다. 또한 그래프 (graphing) 프로그램, 성능 모니터링 (performance monitoring) 애플리케이션, 인쇄물 없는 (reportless) 모드 등의 지원 소프트웨어 프로그램도 함께 제공됩니다. 180XP는 정확할 뿐만 아니라, 낮은 전력 소비량과 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 장치는 작동 중 기계적 충격을 견딜 수 있도록 설계되었으며, 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 이것은 다양한 반도체 제조에 이상적인 옵션입니다.