판매용 중고 VARIAN 160XP #96723
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판매
ID: 96723
High current implanter
Standard Configuration (manual wafer loading)
(Qty 2) Sources
(Qty 2) Vaporizers
Spare defining plate
Spare manipulator
Dry Pump for Source RP Leybold D50
Edwards 200 for E/S
Disk 4" / 6" configured
4" and 6" available (spares)
Implant Monitor Software (150 recipes)
Record of resistivity and particle on request
Gasbox 4 lines / 3 in use (Argon / Boron / Phos)
Warehoused
1985 vintage.
VARIAN 160XP는 반도체 산업에서 널리 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. VARIAN 160 XP는 다양한 응용 프로그램에 사용될 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 임플랜터입니다. 고급 펄스 파워 (pulse-power) 전달 장비를 갖추고 있으며 빔 전류 (beam current) 와 용량 (dose) 을 잘 제어하고 정밀 용량 균일성을 제공합니다. 또한 160XP에는 자동 흔들림 시스템 (automated wobling system) 이 있어 증착 응용 프로그램을위한 더 균일 한 레이어 두께를 만들 수 있습니다. 160 XP에는 고급 입자 검출기, 빔 전류 리미터, 충돌 방지 장치 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이는 기계가 안전하고 효과적으로 작동 할 수 있도록 합니다 (고에너지 입자가 사용되는 응용 프로그램). 또한 VARIAN 160XP에는 빔 매개변수 (beam parameters), 현재 안정성 (current stability) 및 기타 중요한 작동 측면을 추적하는 최첨단 모니터 (state-of-the-art monitor) 가 장착되어 있어 프로세스가 가능한 한 효율적이고 정확합니다. 이 모니터는 펄스-파워 전달 머신과 함께 VARIAN 160 XP가 탁월한 용량 제어 및 정밀도를 제공합니다. 160XP는 RF 렌즈 (RF 렌즈) 나 정전기 디플렉터 (정전기 디플렉터) 와 같은 고급 이온 옵틱을 사용하여 빔 프로파일을 제어하고 원하는 대상에서 이온을 지시합니다. 즉, 통합 소스 자석을 사용하면 빔을 정확하게 조향할 수 있고, 고해상도 이미징 도구를 사용하면 원하는 목표만 명중시킬 수 있습니다. 많은 기능 외에도 160 XP도 편의성을 고려하여 설계되었습니다. 작동이 매우 쉽고 편리한 사용자 인터페이스가 있습니다. 또한 VARIAN 160XP 는 다양한 진단 툴과 원격 성능 모니터링 (remote performance monitoring) 기능을 제공합니다. VARIAN 160 XP는 강력하고 신뢰성 있는 이온 임플랜터이며, 탁월한 정확성과 정확도를 제공합니다. 고급 기능, 사용자 친화적 인 디자인 (user-friendly design) 은 다양한 증착용 (deposition) 과 빔 (beam) 어플리케이션을 위한 탁월한 선택이며, 다양한 안전 기능을 통해 신뢰할 수 있습니다.
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