판매용 중고 VARIAN 1510 #9026280

바리안 1510 이온 임플란터 (VARIAN 1510 ion implanter) 는 반도체 산업에서 전기적 특성을 수정하기 위해 반도체 및 기타 물질에 이온을 이식하기 위해 주로 사용되는 고정밀, 고성능 장비입니다. 또한 보험 산업, 생화학과 같은 다른 산업 응용 분야에도 사용됩니다. 1510은 고급 이온 이식 성능을 제공합니다. 여러 개의 임플란트 각도 (implant angle) 와 다중 전류 밀도를 사용하여 높은 정확도로 이온을 임플란트하도록 설계되었습니다. 정교한 소프트웨어 및 하드웨어 시스템은 정확한 임플란트 품질과 처리량을 제공합니다. 임플란트 작업 매개변수는 XML 파일에 저장되므로, 빠르고 쉽게 설정을 변경할 수 있습니다. 비상 정지 버튼, 인터록, 안전 아이콘은 사용자에게 추가적인 보호 기능을 제공합니다. VARIAN 1510은 이온 임플랜터 모듈, 이온 질량 모니터, 고전압 급지대, 로드 잠금 장치 및 다중 인젝터 헤드로 제작되었습니다. 이식 모듈은 이온을 웨이퍼에 이식하는 고전압 빔을 생성합니다. 질량 모니터 (Mass Monitor) 는 마스터 세트 포인트에 대해 이온의 에너지와 질량을 수집하고 분석합니다. 고전압 급지대는 이온을 이식하는 데 필요한 빔 전류를 제공합니다. 로드 잠금 장치 (Load Lock Unit) 는 챔버 내에서 지정된 대기를 유지하고 외부에서 오염을 방지하기 위해 설계되었습니다. 다중 인젝터 헤드는 최대 4 개의 개별 빔을 프로그래밍 할 수 있습니다. 1510 이온 임플란터 (ion implanter) 와 모니터 (monitor) 는 다양한 산업 분야에 이온을 구현하기 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 정확성과 정확성은 원하는 결과를 달성합니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 설정 시간을 최소화하고 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. VARIAN 1510 의 고급 안전 (safety) 기능은 이온 임플란테이션과 관련된 위험으로부터 사용자를 보호하는 데 도움이 됩니다.