판매용 중고 VARIAN 120XP #293830779

ID: 293830779
High current ion implanter.
VARIAN 120XP는 VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.에서 개발 한 아트 이온 임플란터 및 모니터 상태로, 반도체 산업에서 고급 이온 임플랜테이션 기능을 제공합니다. 이 기계는 일관되고 반복 가능한 임플란트 성능을 위해 설계되었으며, 고급 정밀도 및 제어가 특징입니다. 매우 낮고 매우 높은 에너지 임플란테이션 (implantation) 이 가능하여 제어 및 정확도를 높이고 프로세스 결과를 향상시킬 수 있습니다. VARIAN 120 XP는 산업 등급 이온 임플란터 및 모니터로 게이트 옥사이드 커패시터 (gate oxide capacitor) 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 와 같은 고급 임플란트 응용 분야에 이상적입니다. 이 기계는 균일 한 열 분배를위한 대형 열 방패 (thermal shield) 를 갖추고 있으며 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 솔리드 스테이트 빔 모니터 (solid-state beam monitor) 를 갖추고 있습니다. 이식 장치는 한 번에 최대 120 개의 소스를 이식하여 적시에 비용 효율적인 디바이스 생산을 보장합니다. 120XP에는 추가 고속 웨이퍼 로더 (Wafer Loader) 및 언로더 (Unloader) 가 포함되어 있으며, 프로세스 주기의 처리량을 향상시키고, 더 빠른 시간 내에 웨이퍼를 신속하게 처리하고 더 많은 부품을 작성할 수 있습니다. 이 기계에는 에너지, 용량 수준, 이온 프로파일 (예: 에너지, 용량 수준) 을 감지하고, 모니터링하고, 보고하는 고성능 빔 모니터링 시스템도 장착되어 있습니다. 또한 120 XP에는 안전한 작업 환경을 보장하는 다양한 고급 안전 (Advanced Safety) 기능이 포함되어 있습니다. 이 기계는 안전위험을 신고할 수 있는 자가 진단 (self-diagnosis) 시스템을 갖추고 있다. 비상시에는 "버튼 밀기 '로 기계를 폐쇄할 수 있다. 이러한 안전 기능 외에도, VARIAN 120XP는 고무결성 (High-Integrity) 스틸 캐비닛으로 구성되며 최대 성능 및 신뢰성을 보장하기 위해 완전히 절연되어 있습니다. 결론적으로, VARIAN 120 XP는 고급 반도체 이식 도구 및 모니터로, 사용자에게 정확하고 반복 가능한 임플란트 결과를 제공합니다. 이 기계의 높은 처리량 및 에너지 제어 (Energy Control) 는 시간 효율성, 정확성, 신뢰성이 필요한 생산/프로세스 주기에 이상적입니다. 강력한 안전 시스템의 추가는 120XP의 장점 목록에 추가되어 안전하고 생산적인 이식 (implantation) 프로세스를 보장합니다.
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