판매용 중고 VARIAN 120-10 #9269114

VARIAN 120-10은 최첨단 호출 및 스퍼터링 이온 임플란터 (sputtering ion implanter) 및 모니터로 샘플 표면에 재료를 정밀 제어 및 선택적으로 배치 할 수 있습니다. 이 기계는 프로세스 최적화를 위해 정확한 반복성과 지속적인 튜닝 기능을 갖춘 안정적이고 강력한 이온 소스를 사용합니다. 고급 미크론 레벨 제어를 통해 120-10은 이온 빔을 사용하여 증착 재료를 정확한 배열로 배치 할 수 있습니다. 빔 셋포인트 (beam setpoint) 및 임플란트 (implant) 조건에 대한 정확한 제어 외에도 VARIAN 120-10은 상세한 프로세스 모니터링 기능도 제공합니다. 임플란트 (Implant) 프로세스의 농도, 속도, 에너지를 모니터링하여 중요한 매개변수가 범위를 유지하도록 하고 증착이 진행되는 방법에 대한 피드백을 제공하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 장비에는 고감도 에너지 분석기 (high-sensitivity energy analyzer) 가 장착되어 있는데, 이를 통해 사용자는 임플란트 재료의 에너지를 측정 및 제어하고 그 구성을 결정할 수 있으며, 프로세스 샘플에서 불순물과 오염 물질을 감지 할 수 있습니다. 시스템의 8 채널 직접 판독 이온 전류 모니터는 모든 임플란트에서 정확성을 유지하는 데 적합합니다. 120-10 (modular chamber design) 은 모듈 식 챔버 설계를 통해 기판 크기와 이식 할 재료 유형에서 최대 유연성을 제공합니다. 이것은 공압 (pneumatic), 삼중 (triode) 및 다중 건 (multi-gun) 을 포함하여 다양한 이온 소스에서 추가로 지원되며, 모두 다른 응용 프로그램에 대해 다양한 옵션을 제공합니다. 따라서 사용자는 특정 프로세스에 가장 적합한 소스를 선택할 수 있습니다. VARIAN 120-10은 다양성, 모듈성 및 사용자 친화성을 위해 설계되었습니다. 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 사용자가 임플란트 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고급 프로세스 레시피 (process recipe) 와 프로세스 제어 통찰력을 제공 할 수있는 내장 전문가 머신 (expert machine) 을 갖추고 있습니다. 이 툴의 강력한 인터페이스/보고 기능을 통해 프로세스 엔지니어 (Process Engineer) 와 품질 관리 (Quality Control) 전문가를 위한 귀중한 툴이 될 수 있습니다. 전반적으로, 120-10은 정밀 제어, 반복 가능성 및 프로세스 모니터링을 통해 고급, 신뢰성 있는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 반도체· 전자산업 전문가에게는 "다재다능성 '과" 고급' 의 도구가 된다.