판매용 중고 VARIAN 120-10 #9144961

VARIAN 120-10은 VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.에서 개발 한 정교한 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이온 이식 공정에 대한 자동 용량 조절 (automatic dose control) 및 고용량 감도 (high dose rate sensitivity) 를 제공하는 것은 동급 최초의 일입니다. 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 갖춘 견고한 디자인으로 쉽게 사용할 수 있습니다. 120-10은 플랜터와 모니터의 두 부분으로 구성됩니다. 임플란터는 이식 된 이온 종을 반도체 기판으로 제어, 정확한 증착을 허용한다. 임플란트 에너지의 기판 변형에 대한 기판을 처리 할 수 있으며, 광범위한 소스 매개변수를 처리 할 수 있습니다. 모니터는 임플랜터가 이식하는 동안 최적의 효율로 작동하도록 설계되었습니다. 여기에는 용량 속도, 이온 에너지 및 기울기 모니터링 및 제어가 포함됩니다. VARIAN 120-10은 이온 이식 작업을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 볼륨 범위가 1.5mm x 2.5mm 인 구성 가능한 멀티 존 웨이퍼 스테이지가 특징입니다. 이것은 기판 전체에 걸쳐 매우 균일 한 이온 분포를 허용합니다. 또한 공차 맵과 조정 가능한 빔 정렬을 통해 이상적인 균일성을 달성할 수 있습니다. 120-10에는 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 가 있으며, 사용자가 임플란트 매개변수를 쉽게 수정하고 빔 프로파일을 볼 수 있도록 설계되었습니다. 장비의 고급 제어를 위해 다양한 보정 옵션을 사용할 수 있습니다. VARIAN 120-10 (VARIAN 120-10) 은 또한 극한의 온도와 전기 서지로부터 시스템을 보호하기 위해 설계된 고급 안전 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 있어 필요에 따라 임플란트 프로세스를 즉시 중단할 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 "프로그램 '과 함께 제공 되는데, 이" 프로그램' 은 "이온 '분배 를 평가 하고 고급 과정 의 중요 한 전압 을 결정 하는 데 사용 할 수 있다. 이 기계는 산업 및 실험실 설정의 요구 사항을 충족하도록 인증되었습니다. 전반적으로 120-10은 강력하고 신뢰할 수있는 이온 이식 도구입니다. 산업 및 실험실 응용에 적합하므로, 사용자는 반도체 기판에 이온을 쉽고 정확하게 임플란트 할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 와 견고한 디자인 (Design) 을 통해 신뢰할 수 있는 이온 임플란테이션을 원하는 사람에게이 자산을 선택할 수 있습니다. 또한, 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 과 다양한 교정 옵션을 통해 사용자는 이 모델을 안전하고 효율적으로 사용할 수 있다는 안심할 수 있습니다.