판매용 중고 VARIAN 120-10 #9068892

VARIAN 120-10
ID: 9068892
웨이퍼 크기: 5"
Ion implanter, 5".
VARIAN 120-10 이온 임플란터 및 모니터는 광범위한 이온 이온 이식 프로세스에 대한 다재다능하고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 독특한 진동 공급 장비 (vibratory feed equips) 가 특징이며, 임플란트 샘플에 대한 짝수 이온 분포와 용량 전달의 정확한 정확성을 보장합니다. 자가 교정 이온 소스 (self-calibrating ion source) 와 빔 광학 (beam optics) 은 무거운 원소의 임플란테이션을 최적화하고 최대 120 keV의 에너지를 커버하도록 설계되었습니다. 모니터 모듈은 에너지, 빔 전류 (beam current), 빔 변위 (beam displacement), 이식 시간 등 다양한 이식 매개변수를 수용할 수 있는 다양한 전원 공급 장치를 제공합니다. 또한 모든 키 매개 변수에 대한 정확한 모니터링 및 제어를 위한 원격 진단 제어 시스템 (Remote Diagnostic Control System) 도 갖추고 있습니다. 120-10 (120-10) 에는 기체 압력, 온도, 배경 전압 및 서로 다른 착상 작업에 대한 자기장을 조절하는 데 사용할 수있는 통합 공정 단위가 있습니다. 이 기계는 총 프로세스 효율성을 높이고 처리량을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 또한, 기계에는 이식 프로세스의 정렬 및 최적화를 돕는 빔 (beam) 전류 모니터 및 프로파일 모니터 (profile monitor) 도구가 장착되어 있습니다. VARIAN 120-10에는 사용자 보호 및 운영 중 안전 보장을위한 몇 가지 안전 기능도 있습니다. 그것 은 "빔 '을 차단 하고" 빔' 선, 방패 및 기타 구성 요소 들 을 과압 혹은 급속 히 가동 시키는 상태 로부터 보호 하는 데 사용 할 수 있는 진공 "인터록 '자산 을 갖추고 있다. 또한, 비상 상황의 경우 기계에 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있습니다. 전반적으로, 120-10 이온 임플란터 및 모니터는 모든 이온 이식 프로세스에 대한 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 다용도 설계 및 통합 안전 (Integrated Safety) 기능을 통해 사용자는 신뢰할 수 있는 작업을 신뢰할 수 있습니다. 이 기계는 최대 120 keV의 광범위한 에너지를 커버하여 정확한 착상 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 가스 압력, 온도, 배경 전압 및 자기장을 조절하는 능력은 이식 과정을 최적화 할 수 있습니다.
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