판매용 중고 VARIAN 120-10 #293652761

VARIAN 120-10
ID: 293652761
웨이퍼 크기: 5"
High current ion implanter, 5".
VARIAN 120-10 (VARIAN 120-10) 은 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비로, 반도체 장치에서 원하는 전하 분포를 정확하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 임플란터는 높은 정확도의 이온 빔으로 부드럽고 꾸준한 작동을 특징으로합니다. 내장형 모니터를 사용하면 빔 전류 (beam current) 와 균일성 (uniformity of implantation) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 공정의 정확성과 반복성 면에서 "칩메이커 (Chipmaker) '에 이상적인 툴이 되도록 하는 다양한 기능이 있다. 그것은 매우 정확한 제어를 허용하는 단일 축 시스템으로 구성됩니다. 첨단 디지털 신호 프로세서 (state-of-the-art digital signal processor) 는 고급 진단 및 안전 장치 (safety unit) 뿐만 아니라 범위의 정확하고 안정적인 정의를 보장합니다. 이 기계는 오른쪽 이온이 더 이상 이식되지 않도록 보장합니다. 또한, 고급 오프 축 스캐닝 기능과 프로세스 반복성을 향상시키는 오프라인 래치 챔버 (Offline Ratchet Chamber) 가 있습니다. 이 기계는 고도로 조준 된 양성자 빔 (proton beam) 을 사용하며, 업계에서 비교할 수없는 높은 정확도로 균일 한 임플란트를 생산할 수 있습니다. 빔 전류는 디지털 신호 프로세서 (digital signal processor) 를 사용하여 최소 전류 수준 0.01mA 및 최대 10mA로 제어 할 수 있습니다. 또한, 빔은 다양한 각도를 생성 할 수 있으며, 다양한 임플란트 깊이 (implant depth) 와 최적화 된 입자 범위 (optimized particles range) 를 가지며, 각 장치의 배치 전반에 걸쳐 동일한 특성을 갖습니다. 120-10에는 내장 진단 및 안전 기능이 포함 된 정교한 사용자 인터페이스도 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 공구를 모니터링하고 제대로 작동하는지 확인할 수 있습니다. 또한, 사용자 인터페이스에는 사용자가 임플란트 프로세스를 관리하고 필요한 경우 변경하도록 도와주는 실시간 피드백 (real-time feedback) 에셋이 포함되어 있습니다. 이 모델에는 프로세스 최적화 (optimization of the process) 를 지원하는 다양한 소프트웨어 옵션과 각 실행이 원하는 임플란테이션 균일성 (implantation unifority) 으로 완료되도록 하는 정밀도 (accuracy) 모드가 포함되어 있습니다. 전반적으로 VARIAN 120-10 (VARIAN 120-10) 은 고급 이온 임플란터 및 모니터 장비로, 제조업체가 균일하고 정확한 임플란트를 얻을 수 있도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 내장형 모니터는 임플란테이션 (implantation) 프로세스를 정확하게 제어하는 한편, 사용자 인터페이스는 운영 용이성과 프로세스 효율성 극대화를 보장합니다. 칩 제조 프로세스를 향상시킬 수있는 고급 시스템을 찾는 제조업체는 120-10 (으) 로 간주해야합니다.
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