판매용 중고 ULVAC IH-860 #9068889

ULVAC IH-860
ID: 9068889
웨이퍼 크기: 6"
High current ion implanter, 6".
ULVAC IH-860은 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. 특히 다양한 기판에 신속하고 정확하게 정의 된 이온을 추가하도록 설계된 연료 효율적인 장치 (fuel-efficient device) 이다. IH-860 의 속도와 정밀도는 프로토 타입 (prototype) 과 볼륨 (volume) 애플리케이션의 운영 실행에 이상적인 선택입니다. 펄스-펄스 제어 (pulse to pulse control) 를 위한 고해상도 빔 전류 모니터와 쉽고 편리한 이온 임플란테이션을 위한 여러 가지 전문가 기능이 장착되어 있습니다. ULVAC IH-860은 고급 빔 운송 장비를 사용하여 광범위한 주사를 허용합니다. 이 시스템에는 이온 빔 스캐닝 (ion beam scanning) 에 대한 2 개의 축이 포함되어 있어 매우 정확한 스팟 크기로 빠르고 접근할 수 있습니다. 또한 일정하고 균일 한 착상 조건을 위해 HV 창이 장착되어 있습니다. 또한, IH-860은 다수의 통합 안전 기능, 가스 제거를위한 디가 서 (degasser) 및 쉽게 재료 로딩을위한 깔때기 (funnel) 를 통합합니다. ULVAC IH-860은 고급이지만 간단한 제어 장치를 사용합니다. '운영' 을 단순화하는 동시에 '과거 실험' 의 데이터를 저장하는 기능도 제공합니다. 또한, 고급 유지 관리 (maintenance) 및 진단 (diagnostics) 프로토콜은 정기 유지 관리 또는 시스템 충돌의 필요성을 최소화합니다. 따라서 도구의 작업 시간이 더 효율적입니다. 또한 IH-860은 고급 절전 기술 덕분에 에너지 효율이 높습니다. ULVAC IH-860은 광범위한 제품을 생성, 유지 관리, 개선하는 데 이상적인 도구입니다. 안정적이고 정확하며, 임플란테이션 당 시간을 10 분으로 크게 줄일 수 있습니다. 이 제품은 다양한 독점 기능으로 처리량 및 성능을 높이도록 설계되었으며, 이 기능을 통해 정확하고 정확한 이온 임플란테이션 (ion implantation) 을 필요로 하는 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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