판매용 중고 ULVAC IDZ-8801 #154974

ULVAC IDZ-8801은 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 붕소, 인, 비소, 안티몬 및 알루미늄과 같은 다양한 이온을 이식하는 데 사용될 수있는 다기능 이온 임플란터입니다. 이 시스템은 충전 오염을 줄이기 위해 챔버 배플 장치 (chamber baffle unit) 가있는 큰 임플란트 챔버 (implant chamber) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 두께 균일성과 용량 설정 측면에서 매우 정확하고 정확한 이온 임플란테이션이 가능합니다. 최대 56 amu 범위의 질량 범위를 가진 무거운 이온 형 임플란트를 처리하도록 설계되었습니다. 임플란터는 또한 임플란트 챔버 (implant chamber) 에 위치한 다이렉트 뷰 (direct-view) 광학 머신을 사용하여 임플란트 프로파일의 실시간 제어를 용이하게합니다. IDZ-8801에는 임플란트 용량, 균일성, 프로파일을 실시간으로 측정할 수 있는 모니터링 도구가 내장되어 있습니다. 이 자산에는 이온에서 생성 된 2 차 전자와 정확한 용량 제어를 제공하는 데 필수적인 빔 전류를 측정하기 위해 패러데이 컵 (Faraday cup) 을 측정하는 매우 민감한 X-Ray 형광 검출기가 포함됩니다. 또한 임플란트 위치 성능 및 상대 용량 분포 (relative dose distribution) 를 모니터링하기 위해 높은 배율로 방출 된 이온의 시각적 이미지를 제공하여 이식 (implantation) 이 사양 내에서 수행되도록 합니다. ULVAC IDZ-8801의 고급 PFG (Plasma Focused Ion Gun) optic을 사용하면 대상 모양을 보다 효과적으로 제어할 수 있도록 임플란트 프로파일을 수정할 수 있습니다. 이 모델은 낮은 임플란트 각도 (Implant Angle) 및 컴퓨터 차단 장치 (Computerized Blocking Equipment) 를 통해 처리량을 극대화하고 서비스의 수율을 증가시킵니다. 이온 임플란터 (Ion Implanter) 및 모니터 (Monitor) 시스템은 고급 통합 EOL (End-of-Run) 모니터를 통해 임플란트가 사양에 배치되어 장치의 처리량 및 수율을 최적화합니다. 또한 IDZ-8801에는 결함을 감지하는 전자 유리 검출기가 있습니다. 전자 유리 검출기는 전자빔을 사용하여 높은 해상도와 정확도의 결함을 감지합니다. ULVAC IDZ-8801 은 테이프 배치 (Tape Placement) 및 임플란트 프로파일 (Implant Profile) 선택 측면에서 높은 유연성을 제공하여 최종 제품을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 간단한 소프트웨어 작동을 통해 시스템 작동 및 원격 제어를 용이하게 합니다. 또한, 이 도구는 안전 레일 및 진공 인터 록을 포함한 포괄적인 안전 기능을 제공합니다. 또한, 경보 도어 (alarmed door) 및 인클로저 보호 (enclosure protection) 와 같은 추가 안전 기능이 최고 수준의 안전을 보장하는 데 도움이됩니다.