판매용 중고 SUMITOMO SWA-90GD #9210360

SUMITOMO SWA-90GD
ID: 9210360
웨이퍼 크기: 8"
Laser anneal system, 8".
SUMITOMO SWA-90GD는 신뢰성이 높고 다재다능한 이온 임플란터 및 모니터입니다. 반도체 업계의 저에너지 (low-energy) 와 고에너지 (high-emplanting) 어플리케이션의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. SWA-90GD는 고급 알고리즘, 최적화된 구성, 새로운 방출 소스 (emission source) 기술을 통해 뛰어난 이식 솔루션을 제공합니다. SUMITOMO SWA-90GD는 최첨단 빔 제어 장비를 갖추고 있으며, 뛰어난 빔 프로파일 예측과 매우 정확한 모니터링을 제공합니다. 이중 제트 이온 광학 장치 (Dual-Jet Ion Optics) 가 있으며, 모노 빔 또는 멀티 빔 구성을 선택하여 광범위한 에너지 분배를 스캔 할 수 있습니다. 또한, 시스템에는 빠르고 정확한 신호 처리를 제공하는 디지털 아날로그 컨버터가 있습니다. 통합 이온 소스는 광범위한 이온, -BN (Boron), P (Phosphorus), As (Arsenic), Ge (Germanium), Ga (Gallium) 및 Cs (Cesium) 를 공급할 수 있습니다. 또한 SWA-90GD는 최대 4 개의 소스 총을 동시에 제어 할 수 있습니다. 또한 적응식 이온 이식 표면 (adaptable ion implantation surface) 이 특징이며, 통합 샘플 홀더의 뒷면을 조정하고 이동할 수 있습니다. SUMITOMO SWA-90GD는 또한 다양한 모니터링 기능을 제공하여 실시간 데이터를 제공하여 최적의 이식 성능을 보장합니다. 여기에는 정밀한 제어를 위해 완벽하게 조정 가능한 내장 전원 및 온도 모니터링이 포함됩니다. 또한 이 모델은 EIG (Enhanced Implant Geometry) 모니터링 장치 (Enhanced Implanting Geometry Unit) 를 지원하므로 활성 이온 이식 영역을 포괄적으로 볼 수 있습니다. 또한 SWA-90GD는 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 사용자 친화적 인터페이스로 프로그래밍과 작업을 단순화하여 다양한 작업 (operation) 간에 원활하게 전환할 수 있습니다. 또한 SUMITOMO SWA-90GD 는 다양한 타사 소프트웨어 패키지와 호환되므로 기존 운영 환경에 완벽하게 통합됩니다. 전반적으로, SWA-90GD는 고급 이온 임플랜터 및 모니터 머신이며, 많은 저에너지 이식 응용 프로그램에 적합합니다. SUMITOMO SWA-90GD는 조절 가능한 이온 소스, 다용도 빔 제어 도구, EIG 모니터링 에셋과 같은 최첨단 기능을 통해 뛰어난 이식 성능을 제공하는 업계 최고의 도구입니다.
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