판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #293764347

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90은 고급 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고성능, 다중 축, 컴퓨터 제어 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 장치는 다양한 에너지 스프레드 (energy spread) 분포를 가진 가스 세그먼트 (gas-segmented) 이온 소스를 사용하여 정확하고 제어 된 임플란트 레이아웃을 제공합니다. SEN/SUMITOMO EATON SEN NV GSDIII-90은 현재 속도, 입자 크기 및 간격과 같은 다양한 기능을 가진 다양한 프로그램을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 1 keV ~ 60 keV의 임플란트 에너지를 제공 할 수 있으며, 표본 검증 및 오류 제어를 위해 고/저 빔 셔터를 제공합니다. 장치의 3 축 공간 제어 시스템은 고급 서보 드라이브 시스템으로 구동되고 변위 탐지기 (displacement detector) 와 인코더 (encoder) 로 모니터링되는 2 개의 선형 모터를 사용합니다. 이것은 장치의 정확성과 안정성을 제공합니다. 이 장치에는 자체 점검 전원 공급 장치, 플라즈마 전류 모니터, 빔 셔터, 다양한 경보 기능과 같은 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 90도 다재다능하며 CVD (chemical vapor deposition) 및 에칭 시스템과 같은 다양한 다른 시스템과 통합 할 수 있습니다. 이를 통해 더 정확한 각인과 개선 된 수확량을 허용합니다. 마지막으로, 이 장치는 맞춤형 임플란트 각도, 빔 컷, 에너지 수준, 임플란트 속도, 임플란트, 마스크 등을 갖춘 광범위한 소프트웨어 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 SEN NV-GSDIII-90은 고급 반도체 제작 프로세스에 적합한 선택입니다. 신빙성 있고, 정확하고, 정확하며, 산업용 반도체 생산 공정의 요구 사항을 피쳐의 조합으로 충족시킬 수 있는 능력을 갖추고 있습니다. & # 160; 이 장치는 오늘날의 고급 응용 프로그램에 귀중한 도구입니다.