판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #9055205

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE는 고속 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 즉, 높은 처리량으로 높은 품질의 임플란테이션을 제공하여 생산성을 높이도록 설계되었습니다. 이 장비는 높은 신뢰성, 안정적인 작동, 고해상도 디지털 이미징, 첨단 저에너지 이식 기술을 갖추고 있습니다. 양성자, 붕소, 알루미늄, 안티몬 등 다양한 이온을 이식 할 수 있습니다. 또한 고도로 모듈식 (modular) 제어판으로 설계되어 임플란테이션 매개변수를 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 높은 에너지, 짧은 이온 펄스를 생성 할 수있는 고성능 총 (gun unit) 이 포함되어 있습니다. 또한 자동 웨이퍼 처리 장치 (automated wafer handling machine) 가 포함되어 개별 웨이퍼에서 임플란트 위치와 용량의 정확하고 정확한 조작이 가능합니다. 모니터링 툴에는 고해상도의 디지털 이미징 (digital imaging) 이 포함되어 있어 임플란테이션과 패키징을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 "이온 '광선 을 원하는 표적 에 집중 하는 데 사용 되는 고출력" 마그네틱 렌즈' 도 포함 된다. 이 자산은 다양한 안전 (Safety) 기능으로 설계되어 장비 손상 가능성을 최소화하고 방사선 노출 위험을 줄여줍니다. 방사선 수준을 줄이기 위해 이온화 된 입자를 차단하고 흡수하는 Barrier 모델이 특징입니다. 또한 시스템 내에서 공중 오염을 제거하는 액티브 퍼지 장비 (Active Purge Equipment) 가 있습니다. 이 장치는 또한 신뢰성 있는 작동을 보장하기 위해 여러 계층의 전자 제품 및 기계 부품 (mechanical component) 으로 설계되었습니다. SEN NV GSD-HE 는 다양한 애플리케이션에 이상적인 기능을 제공합니다. 높은 전력 임플란테이션 속도를 특징으로하여 최대 6zA/cm2에 도달 할 수 있으며, 펄스 지속 시간은 10-200n입니다. 고품질 임플란트 (Implant) 와 높은 처리량을 제공하며, 생산 주기 시간은 1 초 이하입니다. 또한 저전력 소비로 설계되었으며, 최대 90% 의 효율로 작동할 수 있습니다. 전체적으로 SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HE는 고품질 임플란테이션과 모니터 성능을 제공하도록 설계된 고급 이온 임플랜터입니다. 고출력 임플란테이션 속도 (high power implantation rate), 펄스 지속 시간 (pulse duration), 저출력 소모 (low power consumption) 및 안전 (safety) 기능 등 다양한 기능을 제공하여 다양한 어플리케이션에 적합합니다.