판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3 #9253859
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ID: 9253859
웨이퍼 크기: 12"
High current implanter, 12"
B+, P+, As+ 2-80 keV
In+ -60 keV
Tilt angle: 0°-7°
Plasma shower
Ion source: IHC (Molybdenum).
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3는 붕소 및 인 임플란트의 임플란트를 생성 및 모니터링 할 수있는 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 그것 은 극도 의 정밀도 와 정확성 을 가지고 그렇게 할 수 있으며, 이식 과정 에 대한 비길 데 없는 제어 를 제공 한다. 그렇다. SEN NV-GSD-HC3는 다양한 최첨단 기술을 통합하여 최적의 임플란테이션 성능을 보장합니다. 여기에는 정확하고 반복 가능한 이식 작업이 가능한 자동 대량 제어 시스템이 포함됩니다. 또한 고급 가스 제어 시스템 (Advanced Gas Control System) 을 자랑하여 이식 과정에서 가스 주입을 최적으로 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 프로세스 매개변수가 실시간으로 단단히 제어되고 모니터링됩니다. SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3의 이식 성능은 통합 된 2 차 처리 모듈을 통해 더욱 향상되었습니다. 이를 통해 이식 매개변수를 복잡하게 조정하고 모니터링할 수 있으며, 이 과정에서 정밀도와 정확도를 높일 수 있습니다. NV-GSD-HC3는 이식뿐만 아니라 완전한 이식 프로세스를 모니터링하도록 설계되었습니다. 정교한 모니터링 시스템을 통해 반음계 (chromatic) 및 질량 빔 정렬 (mass beam alignment), 빔 전류 (beam current), 전압 (voltage) 등과 같은 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 전체 이식 프로세스가 항상 정확하고 정확한지 확인할 수 있습니다. SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3은 또한 통합 자기 충격 클램프 (magnetic shock clamp) 및 방사선 보호 쉴드 (radiation protection shield) 와 같은 추가 기능을 제공하여 운영 직원의 안전성과 이식 프로세스의 품질을 모두 보장합니다. SEN NV-GSD-HC3 (SEN NV-GSD-HC3) 은 이온 임플란테이션 및 모니터링 프로세스에서 최고 수준의 정확성과 정확성이 필요한 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 사용이 간편한 인터페이스와 직관적인 운영, 최첨단 (최첨단) 기술과 다양한 기능을 자랑합니다. 이를 통해 SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HC3는 제조업체에 우수한 이식 성능을 보장 할 수있는 도구와 기능을 제공합니다.
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