판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293637081

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80은 고성능 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 제품은 최적의 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었으며, 최고의 임플란테이션 정확도, 재생산 가능성, 균일성을 보장하는 강력한 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 로보틱 조작기 (robotic manipulator) 를 사용하여 최대 4 개의 웨이퍼를 로드하고 언로드 할 수 있도록 수평 축이있는 로드 락 챔버 (loadlock chamber) 가 있습니다. 또한, 고 에너지 및 저에너지 임플란테이션을 달성하기 위해 2 개의 독립 챔버가 장착되어 있습니다. SEN NV-GSD-A-80에는 X축, Y축 및 Z축으로 구성된 3축 스캔 시스템이 있어 정밀한 빔 분포 및 용량 조절이 가능하므로 매우 정밀하게 초미세 패턴을 임플란트할 수 있습니다. 이동식 빔 축 (movable beam axis) 이 장착되어 있어 다른 이식 프로세스에 대한 빔 위치를 쉽게 조정할 수 있습니다. 스캔 시스템에는 샘플을 장착하고 최대 1000 ° C까지 가열 할 수있는 고온 히터 (heater) 도 장착되어 있습니다. SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80에는 여러 모니터 시스템이 장착되어 있어 특정 요구 사항에 따라 이식 프로세스가 수행됩니다. 여기에는 패러데이 콘센트 검출기, 패러데이 컵 센서, 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스, 이온 밸런스 모니터 및 X- 선 bremsstrahlung 방사선이 포함됩니다. NV-GSD-A-80 은 또한 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하는 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 이식 프로세스를 실시간으로 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 소프트웨어는 프로세스 매개변수 설정, 모니터링 및 제어, 고급 재료 분석 설정/모니터링, 레시피 파일 액세스, 리콜 기능 등의 다양한 기능으로 구성됩니다. 결론적으로 SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80은 최첨단 프로세스 제어 및 분석 기능을 제공하는 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 로드록 챔버 (loadlock chamber), 3축 스캔 시스템 (3축 스캔 시스템) 및 다중 모니터링 시스템 (제어 소프트웨어와 연계) 을 통해 사용자는 필요에 따라 임플랜테이션 프로세스를 정확하게 조정하고 모니터링할 수 있는 유연성을 제공합니다.