판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9181753

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80
ID: 9181753
웨이퍼 크기: 5"
High current ion implanter, 5".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80은 EATON NV 시리즈의 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 고성능 이온 임플란터 (ion implanter) 로, 다양한 애플리케이션에 대한 정확한 임플란테이션과 모니터링 기능을 제공합니다. SEN NV GSD-80 은 중소형 (Small-Size) 실험실에 적합합니다. 소형 설계는 매우 효율적이며 운영에 유용한 독창적 인 기능이 포함되어 있기 때문입니다. 이온 이식, 기판 SPU 모니터링, 저용량 제어 등 여러 임무를 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 정확하고, 정확하게 제어되고, 균일한 레이어 두께, 임플란테이션의 제어된 각도, 결과를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. DOSA ™ 기술 검사 레이저 광학 장비 (DOSA ™ Technology Scanning Laser Optics Equipment) 는 이식 에너지, 각도 및 용량을 모니터링하는 데 사용됩니다. 시스템에서 얻은 결과를 미리 정의된 값과 비교하므로, 반복 가능하고 일관성 있는 이식 (implantation) 이 가능합니다. 또한 SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80에는 작은 광학 벤치 및 폐쇄 작업 영역이 있어 아크릴 손상 및 잔해를 줄입니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 와 직관적인 명령 (Instuitive Command) 을 통해 여러 프로그램과 설정을 손쉽게 관리할 수 있으므로 한 사람이 쉽게 운영할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 환경 조건에서 착상 정확성을 유지하는 고급 열/운동 제어 시스템 (Advanced Thermal and Motion Control System) 이 장착되어 있습니다. 게다가 저전력, 저전압, 전력금속원 (Power Metal Source) 이 있어 전체 TCO (총 소유 비용) 를 절감하는 비용 효율적인 전원이 제공됩니다. 설치 영역의 범위를 제한하는 경우에도 유용합니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 는 운전자 를 먼지, 소음, 방사선 으로부터 보호 하기 위한 최신 안전 기능 (예: 경막, 비상 정지, XCC 안전 차단) 과 통합 되어 있다. 전체적으로 SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80은 소규모 및 중형 실험실에 적합한 이상적인 Ion Implanter and Monitor 도구입니다. 탁월한 디자인과 기능을 통해 프로세스 제어, 반복 가능성, 정확성, 신뢰할 수 있는 작동을 향상시킬 수 있습니다.
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