판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 #9144963

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80은 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 주로 장치 제조를위한 반도체 제작 프로세스에 사용되며 IC (Integrated Circuit) 생산 파이프 라인의 필수 도구로 간주됩니다. 특히, 기판에 전압 전위의 전달을 제어하여 제어 된 양의 도판트 이온 (dopant ion) 을 기판 표면에 이식 할 수있다. 그 결과, 장치의 전기적 특성을 변경할 수 있고, 처리 계층 (layer of processing) 을 추가하면, 장치 기능의 무결성을 향상시킬 수 있습니다. 하드웨어 측면에서 SEN NV GSD-80 이온 임플란터 및 모니터 시스템은 전자 소스, 총 에너지기, 가속기, 가이드 및 스티어링 어셈블리, 컨트롤러 및 분석 및 측정 장치로 구성됩니다. 전자원 은 소형 전자 광선 으로, 기질 물질 을 폭격 하여 다량 의 "이온 '을 생산 할 수 있다. 총 "에너지 '는 전자 광선 의 방향 과 강도 를 조절 하는 데 사용 된다. 그 다음 에 "이온 '을 기판 으로 추진 하는 데 도움 이 되는" 가속기' 가 뒤따른다. 이 가이드 및 스티어링 어셈블리 (Guide and Steering Assembly) 는 전기적 작동을 통해 이온 궤적을 제어하고 지시하는 역할을 맡고 있으며, 컨트롤러는 장치의 전반적인 작동을 감독합니다. 마지막으로, 분석 및 측정 단위는 오실로스코프 (oscilloscope) 와 전압 측정 (voltage measurement) 과 같은 다양한 방법을 통해 이온 이식 (implanting) 의 품질을 모니터링하는 데 사용됩니다. 제어 및 작동 측면에서 SUMITOMO EATON NOVA NV GSD 80 이온 임플란터 및 모니터 머신은 사용자 정의가 가능하고 사용하기 쉽습니다. 사용자 인터페이스 (user interface) 는 빠르게 호출되는 매개변수 조정 및 레시피 관리 (recipe management) 를 편리하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 자산과 전체 성능 최적화를 보장하는 자가 점검 모델이 제공됩니다. 마지막으로, 실시간 상태 모니터링을 지원하고, 신속한 문제 해결 및 소프트웨어 패치를 위한 통합된 장애 진단 (fault diagnosis) 장비를 갖추고 있습니다. 전체적으로 SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 이온 임플란터 및 모니터는 높은 정확도 수준에서 정확한 이온 임플란테이션을 수행 할 수있는 신뢰할 수있는 시스템입니다. 이온 이식 (ion implantation) 과정을 최종적으로 제어할 수 있도록 설계된 경제적이고 효율적인 장치다. 이 장치는 기능, 편리한 기능을 통해 반도체 제작에 매우 유용한 툴로, 현재 업계 최고의 기술로 손꼽히고 있습니다 (영문).