판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 #9288565

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160
ID: 9288565
웨이퍼 크기: 6"
Ion implanter, 6".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160은 다양한 산업 및 연구 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고성능 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 기계는 에너지 수준 3,000 볼트까지 이온을 가속화 할 수 있으며, 매우 정확하고 재현 가능한 이식 깊이, 형태, 용량, 프로파일을 보장 할 수 있습니다. 임플란터에는 6- 다이버트-그리드 (6-divert-grid) 가 장착되어 이온의 다양한 빔을 생성하여 기질 전체에 균일 한 도핑을 생성 할 수 있습니다. 이것 은 "이온 '을 일관성 있는 각도 로 방전 시켜 보다 정확 한 결과 를 가져다 준다. SEN NV 10SD-160은 또한 전자 방출기의 형태 인 핫 필라멘트 음극 (hot-filament cathode) 을 사용하며, 이는 열성 또는 전계 방출 음극 시스템에 비해 더 높은 전류 밀도를 가능하게한다. 이러한 고급 컴포넌트는 높은 정밀도와 빠른 사격 속도 (Barrage Rate) 를 제공하여 처리량을 크게 향상시킵니다. 이 시스템에는 다중 채널 전자 모니터 (Multi-Channel Electron Monitor) 및 고주파 결함 모니터 (High-Frequency Defect Monitor) 와 같은 여러 가지 고급 기능도 포함되어 있습니다. 전자 모니터는 스캔 속도를 정확하게 측정 할 수있는 반면, 결함 모니터는 이온 (ion-ion) 충돌과 빔 (beam) 경로를 따라 발생할 수있는 섭동을 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 모듈식 설계를 통해 뛰어난 구성을 제공합니다. 이 제품은 다양한 보조 장비와 통합되어 원격 모니터링 및 제어, 데이터 로깅 (Data Logging) 및 시각화 (Visualization) 기능을 지원합니다. SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160은 매우 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 첨단 구성 요소를 통해 매우 정확하고 재현 가능한 이식 깊이, 모양, 용량, 프로파일을 제공할 수 있으며, 탄약 속도가 매우 빠르므로 처리량이 크게 향상됩니다. 구성 능력이 뛰어나 다양한 구성요소 (component) 의 통합이 가능하며, 강력한 진단 기능을 통해 다양한 산업/연구 애플리케이션에 적합합니다.
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