판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160 #9272524
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SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10SD-160은 고성능 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 반도체 웨이퍼의 정확한 이온 이식을 가능하게하도록 설계되었습니다. SEN NV 10SD-160은 전자 총을 사용하여 고 에너지 빔을 생성하며, 이는 고 에너지 이온 입자로 반도체 웨이퍼를 이식하는 데 사용됩니다. 총은 최대 160 KeV의 에너지로 변할 수 있으며, 광범위한 용량을 생산할 수 있습니다. NV 10SD-160에는 고급 컴퓨터 제어 프로세스 모니터링 및 데이터 획득 시스템이 장착되어 있습니다. 이 고성능 모니터링 장치는 이온 이온 이식 (precision ion implantation) 및 이식 재료의 데이터 획득을 가능하게 합니다. 또한, 기계는 다른 웨이퍼의 최적의 임플랜테이션을 위해 매개 변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160에는 고진공 챔버가 장착되어 있으며, 이는 이온을 효율적으로 이식하는 데 필수적입니다. 이렇게 하면 공구를 최적화하고 착상 주기의 오염을 최소화할 수 있습니다. SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV10SD-160은 또한 이온 임플란테이션을 수행 할 때 최적의 안전을 보장하는 다양한 고급 안전 자산을 제공합니다. 전압 초과 제한 (over voltage limitation) 및 지상 결함 격리 시스템 (ground fault isolation system) 을 통해 매우 민감한 임플란테이션을 수행 할 때 최대 안전성을 보장합니다. 결론적으로 SEN NV10SD-160은 고성능 안전한 이온 이식 이식 모델입니다. 고진공 챔버와 결합된 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 데이터 획득 (Data Acquisition) 장비를 통해 반도체 웨이퍼를 정확하게 이식할 수 있습니다. 감사와 안전 시스템의 범위는 임플란테이션을 수행할 때 최고의 안전성을 보장합니다.
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