판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80 #9269133

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV 10-80은 주로 상업용 반도체 산업을 위해 설계된 고급 전기 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 고급 도구는 SEN/Sumitomo-Eaton에서 생산하며 다양한 이온을 기판으로 이식하는 데 널리 사용됩니다. 이 장치는 고해상도 이온 임플란테이션으로 원자 정의 기판을 만드는 데 도움이됩니다. SEN NV 10-80은 400kV, RFQ 초전도체를 갖춘 정전기 가속기를 사용하여 이온을 10-80 KeV의 에너지로 가속화합니다. 이 장치에는 이중 이온 빔 소스 (ion-beam source) 가 있으며, 다양한 재료를 기반으로 한 배치 모드 임플란테이션이 가능합니다. 이 장치는 플라즈마 안정성 향상을 위해 반전 된 4 사분면 자석 전원 공급 장치로 구동됩니다. 또한, 이 장치에는 기판 스캔 및 마운트를 위한 포지셔너가 있습니다. SUMITOMO EATON NOVA NV-1080은 빔 프로파일, 반지름, 각도 등 반도체 업계의 다양한 설정에 최적화되어 있습니다. "빔 '전류 는 동력" 펄스' 원 으로 제어 할 수 있으며, 기판 에 효율적 인 "이온 '착상 을 할 수 있도록 조정 할 수 있다. 양극은 이온 빔 에너지 (ion beam energy) 와 전류 (current) 를 제어 할 수 있도록 가변 조절로 설계되었습니다. 이 장치는 implantation 프로세스 동안 광범위한 Active 및 Passive 모니터링을 지원합니다. 예를 들어, 이 장치는 레이저 광 측정, 빔 전류 교정, 양극 조절, 전자 승수 등을 특징으로합니다. 인사이트 (in-situ) 모니터를 사용하면 변동 시 이온 이식 (ion implantation) 매개변수를 실시간으로 표시하고 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이식 프로세스의 모니터링 외에도 SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-1080은 빔 전류 조정, 전압 교정 및 데이터 저장과 같은 기능도 제공합니다. 통합 데이터 스토리지 (Integrated Data Storage) 기능을 사용하면 임플란테이션 데이터를 저장하고 검토하여 분석할 수 있습니다. 결론적으로, NV-1080은 주로 상업용 반도체 산업을 위해 설계된 고급 전기 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 장치는 조절 가능한 에너지 수준, 현재, 위치 등을 갖춘 고해상도 이온 임플란테이션을 제공할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 이식 프로세스 동안 다양한 활성 (active) 및 수동 (passive) 모니터링을 제공하여 이식 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 통합 데이터 스토리지 (Integrated Data Storage) 기능을 통해 Implantation 데이터를 저장하고 검토할 수 있습니다.