판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA HE3 #293792242

SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3는 뛰어난 신뢰성을 갖춘 고정밀 임플란테이션을 위해 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 고급 집적 회로 생산을 위해 고품질의 성능과 탁월한 성능을 제공합니다. SEN HE3 는 다재다능하고 경제적인 플랫폼으로, 다양한 프로세스 흐름에서 운영 수준의 구현을 제공합니다. 또한 안정적이고 반복 가능한 임플랜테이션을 위해 고급 프로세스 컨트롤을 제공합니다. 최첨단 SUMITOMO EATON NOVA HE3는 2 단계 RF 생성기, 인상적인 정확하고 혁신적인 프로세스 도구를 갖춘 고급 빔 라인 형상을 갖추고 있습니다. 하이 빔 전류 (high beam current) 는 다양한 재료 및 공정 매개변수에 효율적인 임플란테이션을 제공합니다. 또한, HE3는 이온 종의 효율적인 임플란테이션을 위해 로우 빔 발산과 하이 빔 전류를 결합한다. 이러한 매개변수의 조합으로 이 시스템은 얕은 연산 (shallow operation) 과 깊은 연산 (deep operation) 모두에 이상적입니다. SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3의 강력한 제어 소프트웨어는 사용자가 뛰어난 반복성과 정확성을 얻을 수 있도록 도와줍니다. 제어 시스템은 에너지, 빔 방출 전류, 빔 전류 밀도, 균일성, 크로스 토크 및 입자 조성을 포함한 모든 중요한 매개변수를 모니터링하여 최적의 임플란테이션을 제공합니다. 또한 레시피 중심의 자율 프로세스를 통해 사용자가 쉽게 이식 작업을 설정할 수 있습니다. SEN HE3 의 강력한 고주파 (High-Frequency) 전원 공급 장치는 어려운 주변 상황에서도 안정적인 작동과 정확한 처리를 보장합니다. 또한 과온 보호 및 저전력 손실로 안정적이고 오래 지속될 수 있습니다. 빠른 주기, 고급 프로세스 제어, 안정적인 운영 및 강력한 엔지니어링을 통해 SUMITOMO EATON NOVA HE3은 정밀도가 높은 IC 생산에 최적의 선택입니다. 탁월한 가격 대비 성능 비율로 대부분의 이식 요구에 적합합니다.