판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA HC3-180 #9056506

SEN / SUMITOMO EATON NOVA HC3-180
ID: 9056506
웨이퍼 크기: 12"
High current implanter, 12".
SEN/SUMITOMO EATON NOVA HC3-180은 이온 임플랜터 및 모니터로, 세계에서 가장 널리 사용되는 이온 이식 장비 중 하나입니다. 이 제품은 SEN/스미토모 전기 산업 (SEN/Sumitomo Electric Industries) 에서 제조되었으며 반도체 제작 산업의 이식 공정 성능을 분석하고 모니터링하는 데 사용됩니다. NOVA SEN HC3-180 (NOVA SEN HC3-180) 은 분석에서 높은 수준의 정확도를 생성 할 수 있으며, 사용자가 모니터링할 수 있도록 광범위한 이식 매개변수를 제공합니다. NOVA SUMITOMO EATON NOVA HC3-180에는 이온 빔 디플렉션 장비 (ion beam deflection equipment) 가 장착되어 있어 이식되는 방향을 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 공간 정밀도 제어 시스템 (spatial accuracy control system) 으로 설정할 수도 있으며, 사용자가 주어진 평면을 따라 임플란테이션의 정밀도를 미세하게 조정할 수 있습니다. NOVA HC3-180은 하드 마스크 플레이, 접촉 형성, 표면 평면 화, 접촉 구멍 채우기 등 다양한 프로세스에서 사용하도록 설계되었습니다. 그러나 제한적이지 않습니다. 고해상도 후면 검출기는 이식 과정에서 좁은 구조에 대한 더 나은 분석을 허용합니다. NOVA SEN/SUMITOMO EATON NOVA HC3-180은 또한 높은 수준의 자동화를 갖추고 있으며, 효율적이고 쉬운 프로세스를 제공합니다. NOVA SEN HC3-180은 효율적인 작동 및 정확성을 보장하기 위해 이온 광학 소스 전원 추출을위한 통합 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 광범위한 이식 프로세스에 사용하도록 특별히 설계되었습니다. NOVA SUMITOMO EATON NOVA HC3-180은 내구성과 신뢰성 있는 구조로 설계되었으며, 사용자에게 전기, 열, 소음 및 진동 간섭으로부터 여러 수준의 보호를 제공합니다. NOVA HC3-180은 광범위한 이온 이식 응용 프로그램에서 우수한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 그것 은 다량 의 혼합 "이온 '을 처리 할 수 있어서, 광범위 한 물질 을 이식 할 수 있다. NOVA SEN/SUMITOMO EATON NOVA HC3-180은 고온 프로세스에 사용하도록 설계되어 생산 환경에 적합합니다. 전반적으로, SEN HC3-180은 고급 이온 임플랜터 및 모니터이며, 이식 프로세스에서 뛰어난 정확성과 효율성을 제공 할 수 있습니다. 통합 이온 광학 소스 전원 추출 도구 및 안정적인 구조를 통해 NOVA SUMITOMO EATON NOVA HC3-180은 모든 반도체 제작 연구소에 적합한 선택입니다.
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