판매용 중고 SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9245969

SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE는 고급 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 초고급형 제품에 대한 고정밀 임플란테이션과 효율적인 모니터링 기능을 제공합니다. GSD-HE 이온 임플란터 (implanter) 는 컴팩트하지만 극도로 강력하며, 저항력이 낮은 기판에 대한 고정밀 임플란테이션을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 레벨 링 (auto-leveling), 정확한 턴어라운드 속도 (turn-around rate), 자동 프로세스 모니터링 (automated process monitoring) 을 비롯한 일련의 독점 기술을 통해 최적의 웨이퍼 처리량을 제공합니다. 고급 진공 배기 시스템은 최소 운영자 개입으로 장기적인 작업을 할 수 있습니다. 3 차원 스캔 및 최적화 기능을 사용하면 표면에 미세 조정 된 정밀 임플란테이션이 가능합니다. GSD-HE (GSD-HE) 는 심층 및 사전 중앙 집중식 임플란트에서 얕은 주변 및 주변 임플란트에 이르기까지 다양한 이식 요구에 사용할 수 있습니다. 또한 열 확산이 적은 초저저저항층 형성 및 균일 한 도핑에도 사용할 수 있습니다. 첨단 이온화 (ionizing) 방식을 통해 복잡하고 복잡한 기하학에도 불구하고 놀라운 프로세스 수익률과 품질을 얻을 수 있습니다. GSD-HE 모니터 시스템은 용량, 이온 전류, 빔 크기 및 위치, 입자 에너지, 입자 이송 속도 및 기타 공정 매개변수를 높은 정확도로 측정하도록 설계되었습니다. 임플란트 (Implant) 와 트랜지스터 (Transistor) 특성을 지속적으로 모니터링하여 임플랜터 및 모니터 장치의 적절한 작동에 대한 피드백을 제공합니다. 따라서 처리 성능 및 웨이퍼 품질이 최적화됩니다. GSD-HE (GSD-HE) 의 정교한 온도 컨트롤러는 임플란트 온도가 권장 값을 초과하지 않도록 설계되었으며, 이는 과온 임플란테이션과 관련된 문제의 위험을 최소화합니다. 독특한 스티그매틱 마그네틱 렌즈 (stigmatic magnetic lenses) 는 수차를 최소화하여 정확한 임플랜테이션 깊이와 빔 크기의 올바른 정렬을 가능하게합니다. GSD-HE (GSD-HE) 는 매우 향상된 임플랜터 및 모니터 머신으로, 울트라 하이엔드 웨이퍼에 대한 정확한 임플란트와 효율적인 모니터링을 제공합니다. 통합 기술이 결합되어 프로세스를 이전 어느 때보다 빠르고, 부드럽고, 효율적입니다.