판매용 중고 SEN NV-10SD-160 #9181751

SEN NV-10SD-160은 반도체 응용 분야에 사용하기 위해 Shimadzu Corporation에서 개발 및 제조 한 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 다용도, 비용 효율성, 직관적인 장비로, 임플란테이션과 관련하여 탁월한 성능을 제공합니다. NV-10SD-160은 VES (Variable Energy Stripping) 기술을 사용하여 광범위한 목표를 통해 균일 한 임플란트 프로파일을 달성합니다. 일단 목표물 이 밝혀지면, 최적화 된 충전 "시퀀스 '를 설정 하여, 최대 용량 의 전달 효율성 을 최적화 할 수 있다. 이 시스템은 또한 6 축 정렬 및 보상 장치 (compensation unit) 를 특징으로하여 모든 임플란트 각도에서 매우 균일 한 임플란트를 생성 할 수 있습니다. 또한, 기계에는 인라인 (in-line) 이식 후 진단 장치가 장착되어 있어 이식 시 낮은 에너지 안정성을 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 최대 160 keV의 효율을 자랑하며 3 단계 가속 전압은 12, 42 및 160 keV입니다. 각 단계마다 피치 각도를 0 ~ 90례로 조정하여 다른 방향으로 임플란트를 수용 할 수 있습니다. 기계식 빔 포커싱 (mechanical beam focusing) 기능은 항상 최적화 된 빔 성능을 가능하게하며, 빔 발산은 0.1 mrad 미만입니다. SEN NV-10SD-160은 컴팩트한 모듈식 디자인과 고출력 (HPA) 기능을 통해 설치 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다. 이 자산은 과열 및 열로 생성 된 이온 이식 인공물을 방지하는 냉각 기능을 제공합니다. 이 모델에는 진공 급지대 (vacuum feedthrough) 가 장착되어 있으며, 높은 생산 속도와 10-7 Torr 이상의 진공 수준을 유지할 수있는 진공 장비가 있습니다. 또한, 이 시스템에는 빠르고 정확한 웨이퍼 포지셔닝, 최적의 웨이퍼 처리량 (wafer throughput) 을 제공하는 정교한 웨이퍼 핸들러가 장착되어 있습니다. NV-10SD-160은 또한 광범위한 IC 테스터 및 전자 현미경과 호환되며, 이를 더 넓은 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 전반적으로, SEN NV-10SD-160은 강력하고 다재다능한 이온 임플란터이며, 고정밀도 및 고수율 반도체 장치를 임플란트할 때 뛰어난 안정성, 제어성, 정확성을 제공합니다.