판매용 중고 PVA TEPLA Evolution II Twin #9354499

PVA TEPLA Evolution II Twin은 고급 듀얼 빔 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이 최첨단 툴은 이온 이식, 모니터링 및 제어를 위한 첨단 기술 기능을 제공합니다. PVA TEPLA Evolution Twin에는 풀 사이즈 8 "엔드 스테이션과 6" 사이드 스테이션이 있으며, 이는 더 큰 유연성과 처리량을 제공합니다. 고전력 모니터 스테이션을 통해 정확한 프로세스 제어를 할 수 있습니다. 또한, 고급 빔 정렬 장비는 매우 정확한 에너지, 전류 및 측면 프로파일 제어를 보장합니다. 이로 인해 입자 축적 (particle accumulation) 과 표면 오염 (surface contamination) 이 감소하여 전반적인 프로세스 품질이 향상되고 기계 가동 중지 시간이 줄어듭니다. 에볼루션 II 트윈 (Evolution II Twin) 은 교환 가능한 인서트가 있는 고급 빔 라인을 사용하여 최적의 성능을 위해 시스템을 구성할 수 있습니다. 빔 라인은 유연성, 고용량 등급, 독점 선형 스캔 및 세분화 (segmentation) 기술을 통합하도록 설계되었습니다. 또한 빠른 변경 이온 소스와 강력한 소스 홀더 (source holder) 를 사용하여 몇 분 안에 교환 할 수 있습니다. 고급 재료 및 장비 모니터링 장치 (Advanced Material and Equipment Monitoring Unit) 는 실시간 빔 전류 보고서와 자동 빔 오프라인 감지 및 오류 보고를 통해 품질 보증 및 프로세스 제어를 제공합니다. 다른 기능으로는 통합 바이어스 튜닝 머신 (Bias-Tuning Machine), 웨이퍼 레벨에서의 고정밀 제어성, 이온 에너지 및 빔 강도를 직접 모니터링하는 실시간 스퍼터 모니터 (Sputter Monitor) 가 있습니다. PVA TEPLA Evolution II Twin (PVA TEPLA Evolution II Twin) 은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며, 최적화된 장비 및 프로세스 모니터링을 위한 고급 경보 및 진단, 추적 가능성 및 프로세스 실행 기록을위한 통합 데이터 로깅 툴로 설계되었습니다. 사용이 간편한 고급 소프트웨어는 매개 변수 조작과 향상된 프로세스 반복성을 제공합니다. 전반적으로, Evolution II Twin은 강력한 도구이며, 유연성을 고려하여 설계되었으며 프로세스 품질, 처리량, 신뢰성을 최적화했습니다. 고급 이온 전달 자산 (ion delivery asset), 통합 모니터링 및 제어 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 업계 최고의 이온 임플랜터 및 모니터 중 하나입니다.