판매용 중고 PVA TEPLA Evolution II Twin #293605828

ID: 293605828
Scanning Acoustic Microscope (SAM).
PVA TEPLA Evolution II Twin은 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. 탁월한 신뢰성, 높은 생산성, 고품질 임플란테이션 및 모니터링 기능을 제공합니다. 고성능 레이저 다이오드 기술은 효율적이고 효과적인 입자 처리를 제공합니다. 에볼루션 II 트윈 (Evolution II Twin) 의 모듈 식 설계를 통해 연산자는 특정 유형의 이온을 반도체 웨이퍼에 임플란트하도록 구성 할 수 있습니다. 여기에는 저에너지 모듈식 이온 소스, 고에너지 모듈식 이온 소스 및 펄스 이온 소스가 포함됩니다. 저에너지 모듈화 가능 이온 소스 (low-energy modulable ion source) 는 이온 에너지와 유형을 조정하는 기능을 제공하며, 다양한 에너지, 펄스 지속 시간 및 변조 기능을 갖춘 동위 원소와 이온을 선택할 수 있습니다. 고에너지 모듈식 이온 소스를 사용하면 이식 중 이온 에너지 (ion energy) 와 타입 (type) 을 변화시킬 수 있으며, 다양한 고에너지 이온을 제공하여 고속 이온 연산을 가능하게합니다. 펄스 이온 소스 (pulse ion source) 는 특정 유형의 이온을 정확하고 빠르게 임플란트하는 기능을 제공합니다. 이 제품은 다양한 펄스 지속 시간 (pulse durations) 과 에너지 (energy) 로 임플란테이션을 수행할 수 있으므로 정밀 임플란트로 처리량이 높습니다. PVA TEPLA 에볼루션 II 트윈 (PVA Evolution II Twin) 의 자동 빔 운송 장비는 정밀 컴퓨터 제어 전기 기계 작동기를 사용하여 소스에서 임플란테이션 존으로 빠르고 정확하게 이온을 전송합니다. 여기에는 각각 자체 빔 모니터링 시스템을 갖춘 3 개의 독립적 인 병렬 경로가 포함되어 있으며, 이식 중에 각 빔을 동시에 모니터링할 수 있습니다. 에볼루션 II 트윈 (Evolution II Twin) 의 또 다른 주요 특징은 고급 냉각 장치이며, 이식 과정에서 발생하는 열을 제거하여 최적의 이식 조건을 유지하고 안정적인 결과를 보장합니다. 이 냉각기는 수냉식 도어 도구를 사용하여 독보적인 냉각 안정성을 보장합니다. PVA TEPLA Evolution II Twin (PVA TEPLA 진화 II 트윈) 에는 진단 모니터가 장착되어 있어 운영자가 임플란테이션의 정확성을 지속적으로 검사할 수 있습니다. 또한 이더넷 인터페이스 (Ethernet interface) 를 통해 다른 컴퓨터에 방사성 측정 및 브로드캐스트 프로세스 데이터를 수행 할 수 있습니다. 간단히 말해, Evolution II Twin은 고성능 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 모듈식 설계와 기능의 배열을 통해 연산자는 이식 (implantation) 에 사용되는 에너지 (energy) 와 이온 (ion) 유형을 정확하게 제어하여 우수한 웨이퍼 품질을 얻을 수 있습니다. 강력한 냉각 자산은 최적의 임플랜테이션 온도를 보장하는 반면, 강력한 진단 기능 및 이더넷 인터페이스 (Ethernet Interface) 는 안정성과 안전성을 보장합니다.
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