판매용 중고 NISSIN NH-20SR #9226070

NISSIN NH-20SR
ID: 9226070
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1989
Medium current implanters, 6" 1989 vintage.
NISSIN NH-20SR 이온 임플란터 & 모니터 (Ion Implanter & Monitor) 는 이온을 기판 물질로 이식하기위한 최첨단 기술입니다. 이 다용도, 소형, 신뢰성 있는 머신은 정확한 빔 제어 및 임플란트에 대한 프로세스 매개 변수를 갖춘 정확한 이온 빔 이미징을 제공합니다. 매끄럽고 1 단계 이온 임플란테이션을 허용하는 2 개의 6 축 컨트롤러와 고정밀 음극 모터가 있습니다. NISSIN NH 20SR (NISSIN NH 20SR) 은 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 및 모니터로, 가장 어려운 조건에서 잘 작동하도록 설계되었습니다. 조정 가능한 챔버/가스 셀, 이온 소스, 진공 펌핑 장비, 빔 쉐이핑 요소 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 챔버/셀은 6 x 10-4 Torr 압력까지 작동 할 수있는 수화물 내성, 스테인리스 스틸 라인 선박입니다. 이온 소스는 6 개의 조정 가능한 음극 눈 (cathode-eye) 요소를 가진 선형 유형으로, 이온 빔 매개변수를 최적화 할 수 있습니다. 또한 "터어보울 '분자" 펌프', 회전 진자, 그리고 방 에서 안정 된 진공 수준 을 유지 하도록 설계 된 게이트 "밸브 '로 구성 된 진공" 펌프' 장치 가 들어 있다. NH-20SR 에는 또한 양극성 이식 (positive polarity implantation) 을 위해 구성 될 수있는 그리드 렌즈 (grid lens) 와 이온 빔 각도를 미세하게 조정하도록 조정 할 수있는 초점 렌즈 (focusing lens) 로 구성된 빔 쉐이핑 섹션이 포함되어 있습니다. 제어기 (Control Machine) 는 사용자가 원하는 매개변수에 따라 이온 임플란테이션을 조정할 수 있도록 3 단계 프로그래밍 가능하고 사용자 친화적 인 인터페이스입니다. 또한 실시간 모니터 (real-time monitor) 는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있는 도구에 연결됩니다. NH 20SR은 정밀 이온 임플란테이션이 필요한 사람에게 이상적인 솔루션입니다. 이온 이식 (ion implantation) 프로세스의 효율성과 품질을 높이는 데 도움이 될 정도로 안정적이고 조절 가능한 자산입니다. 내구성과 신뢰성 있는 디자인 (직관적인 제어 모델) 의 조합으로, 이 이온 임플란터 (ion implanter) 와 모니터는 이온 이식 (ion implantation) 분야에서 일하는 사람들에게 귀중한 도구입니다.
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