판매용 중고 NISSIN NH-20SR #293637187

NISSIN NH-20SR
ID: 293637187
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Medium current implanter, 8" Chamber 1998 vintage.
NISSIN NH-20SR은 일본 제조업체 NISSIN Electric Works가 개발 한 이온 이식 및 모니터링 장비입니다. 고정밀도 이온 소스가 장착되어 있으며, 최대 빔 전류 용량은 최대 20mA입니다. 이 시스템은 멀티 플레이트 RF 이온 소스, 이온 빔 확장 튜브, 이중 변위 빔 라인, 고에너지 임플란테이션을위한 하이매스 빔 라인 유닛, X-Y 스캔 장치, 고전압 다중 채널 전원 공급 장치, 디지털 입력 컨트롤러 및 고감도 디지털 디스플레이 모니터. NISSIN NH 20SR은 이온 이온 이온 에칭 및 이온 이온 이식 및 가속 순차 프로세스 응용 분야에 이상적입니다. B, He, P, Si, As 및 C와 같은 다양한 이온을 낮은 에너지에서 높은 에너지로 이식 할 수 있습니다. 이 장치는 매우 광범위한 전원 공급 장치 전압 (최대 60 KV) 을 제공하며, 빔 전류 조절 기능이 뛰어납니다. 다중 빔 출력을 사용하면 고정밀 임플란테이션 조정이 가능합니다. NH-20SR은 독특한 인체 공학 디자인의 사용자 친화적 인 탁상 임플란터이며, 손쉬운 처리 및 유지 관리 기능을 제공합니다. 디지털 읽기 출력 모니터 (Digital Read Out Monitor) 는 빔 전류 및 임플란테이션 용량 속도를 표시하여 임플란트 프로세스를 효과적으로 모니터링하고 실시간으로 수행할 수 있습니다. NH 20SR은 연구와 이중 접합 태양 전지, 트랜지스터 및 MEMS 장치 제작에 사용될 수 있습니다. 기계에는 임베디드 된 3 단계 고정밀도 방사형 자석 필드 (radial magnet field) 가 장착되어 있으며, 이는 이온 빔을 얇은 기판에 정확하게 이식 할 수 있습니다. 저소음 수준 (low noise level) 에서 작동하며 수집 효율이 높아 기판의 손상을 줄이고 수확량을 높입니다. NISSIN NH-20SR의 또 다른 주목할만한 기능은 자체 모니터링 도구로, 사전 설정 범위 외의 빔 전류/전압 변동을 즉시 감지하고 장치 제조 실패를 예방할 수 있습니다. NISSIN NH 20SR 은 첨단 기능 및 운영 신뢰성 (Operating 안정성) 으로 인해 다양한 첨단 업계에서 널리 활용되어 생산량이 많은 내구성과 안정성이 뛰어난 고성능 장치를 생산하고 있습니다. 상당한 비용 효율성, 컴팩트한 설계, 손쉬운 유지 관리를 통해 제조 공장, 연구, 엔지니어링 기관, 대학 등에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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