판매용 중고 NISSIN NH 20SP EX #293603084

NISSIN NH 20SP EX
ID: 293603084
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Medium current implanter, 8" (4) Carrier cassettes (2) Electrostatic electrocodes Swing-arm scan mechanism Parallel beam implantation Dose uniformity control In-situ parallelism and uniformity monitor Large-tilt-angle implantation Implantation modes: Step rotation / Angle step 1996 vintage.
NISSIN NH 20SP EX는 NISSIN Electric Co.에서 설계 및 제조 한 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. Ltd. 다양한 재료의 기판에 대한 신뢰할 수 있고, 정확하며, 효율적인 빔 커버리지를 제공하기 위해 제작되었습니다. NH 20SP EX는 HPG (High-Power Electron Gun) 를 사용하여 이온을 생성 한 다음 이식을 위해 기판으로 가속됩니다. 이 이온 임플란터에는 정밀 정렬, 고효율 2 차원 스캔 및 균일 한 빔 커버리지를 위해 고정밀, 조명 레티클 및 전동 스테이지가 장착되어 있습니다. 다양한 빔 전류 (beam current) 와 에너지 (energy) 를 제공할 수 있으므로 여러 임플란테이션 애플리케이션에 적합합니다. NISSIN NH 20SP EX는 임플란트 매개 변수를 지속적으로 측정하기 위해 3 개의 Lambda 다이오드로 구성된 다중 채널 임플랜터 모니터를 사용합니다. 이 모니터는 운영 매개변수 (operating parameters) 에서 작은 변형을 쉽게 감지할 수 있으며, 원하는 임플란테이션 프로세스를 유지하기 위해 모든 불완전성을 신속하게 보상합니다. NH 20SP EX는 또한 2 차 이온의 생성을 방지하는 Y 빔 쉐이핑 시스템을 갖추고 있습니다. 이것은 모든 크기의 기판에 균일 한 빔 커버리지를 용이하게합니다. 또한, 통합 정밀 위치 시스템을 사용하면 기판 표면의 매우 정확한 빔 중심이 가능합니다. 안전 및 운영 효율성을 보장하기 위해 NISSIN NH 20SP EX에는 인클로저 된 연동 도어가 제공됩니다. 이 문은 안전 장치 (Safety Device) 이자 생산성을 극대화하기 위해 논스톱 (Non-Stop) 서비스를 제공하는 수단입니다. 전반적으로 NH 20SP EX는 다재다능하고 정확하며 신뢰성이 높은 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 제품은 다양한 고급 기능 (advanced features) 을 갖추고 있으며, 모든 재료의 기판을 안정적이고, 정확하며, 고속 임플란테이션하기 위한 이상적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다