판매용 중고 NISSIN iG4-V3 #293621625
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NISSIN iG4-V3는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 이식 (Implanting) 과 모니터링 (Monitoring) 모두에 최고의 기술을 통합하여 높은 품질의 집적 회로 생산을 보장합니다. 코어에서 iG4-V3은 빔 각도 < 2 ° 로 최대 625 (-A/cm2) 의 강도를 제공 할 수있는 고 에너지 250kV 데크로 구동됩니다. 이 장치의 조절 가능한 빔 추출 범위는 5-40 ° 입니다. 따라서 처리량 향상, 처리 시간 단축, 신뢰성 있는 제어가 가능합니다. 이 기계는 프로그래밍 가능한 제어 도구 (programmable control tool) 와 다중 축 (multi-axis) 로봇 암으로 작동하여 정확성과 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 제어 에셋 (control asset) 에는 지정된 생산 프로세스의 특정 요구에 맞게 모델을 사용자정의하기 위해 수정할 수 있는 매개변수가 포함됩니다. 로봇 암은 반복 성과 위치 정확성을 제공 할 수 있지만, 표본 또는 샘플 재료의 더 빠른 조작을 허용합니다. NISSIN iG4-V3 는 직관적인 터치스크린 인터페이스와 첨단 데이터 획득 시스템으로, 정확하고 포괄적인 데이터 분석을 제공합니다. 데이터를 2D 및 3D 이미지로 분류하고, 저 빔 에너지 및 원하는 이온 에너지를 측정 할 수 있습니다. 또한, 장비에는 이온 빔 자석 시스템 제어가 있으므로 표본 모니터링이 향상됩니다. IG4-V3은 또한 빔 순도 및 입자 분석을 검사하기 위해 인라인 질량 분석 스테이션을 제공합니다. 이를 통해 다양한 단계에서 오염을 파악하여 제조 제품 (Manufactured Product) 의 결함 수준 (Defect Level) 의 위험을 줄일 수 있습니다. 결론적으로, NISSIN iG4-V3는 반도체 생산에 다양한 이점을 제공하는 올인원 임플랜터 및 모니터 장치입니다. 유연한 설계와 강력한 기능을 통해 운영 프로세스의 품질과 효율성을 보장하고, 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 와 데이터 분석 도구 (data analysis tools) 를 통해 최종 제품의 결함 위험을 줄일 수 있습니다.
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