판매용 중고 NISSIN Exceed 300AH #9103092

NISSIN Exceed 300AH
ID: 9103092
웨이퍼 크기: 8"-12"
Ion implanter, 8"-12".
NISSIN Exceed 300AH (NISSIN Exceed 300AH) 는 매우 정밀한 반도체 장치를 제작하도록 설계된 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이것은 정교한 반도체 장치 제조업체들에게 이상적인 선택으로, 붕소, 인, 비소와 같은 가벼운 이온과 구리, 금, 은과 같은 더 무거운 금속 이온의 고정밀 임플란테이션을 수행 할 수 있습니다. 300AH를 초과하는 이중 모드 프로세스 제어 기술 (Dual Mode Process Control Technology) 은 이온 이식 작업을 모니터링하고 제어하여 전달 된 에너지와 용량이 미리 결정된 한계 내에 유지되도록 합니다. 이 듀얼 모드 프로세스 제어 (Dual Mode Process Control) 기술은 이식 매개변수를 변경하여 실시간으로 용량을 균일하게 조정하여 이식 동작의 정확성과 정확도를 높입니다. 또한, 내장 스캔 검출기 (scan detector system) 를 사용하면 최적의 임플란테이션을 위해 매개변수를 자동으로 감지하고 조정할 수 있습니다. NISSIN Exceed 300AH (NISSIN Exceed 300AH) 는 여러 주변 장치 구성 요소와 함께 이온 이식 설치를 확장할 수 있는 유연성을 제공하는 모듈식 설계입니다. 이러한 구성 요소에는 대상 반사기, 스캔 컨트롤러, 이온 소스 전원 공급 장치, 검출기 테이블 및 저전압 커넥터가 포함됩니다. 또한 300AH 를 초과하는 완전 통합형 전원 공급 장치 (Full Integrated Power Supply System) 를 통해 전체 이식주기 동안 안정적이고 안정적인 에너지를 확보하여 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다. 게다가, 이식 작업 중 이식 과정을 모니터링 할 수있는 저전압 (low-voltage) 검출기를 통합합니다. 이것 은 모든 퇴적 된 "이온 '이 동일 한 깊이 에 이식 되도록 하며, 그 결과 보다 조밀 한 착상 조절 이 된다. 또한 NISSIN Exceed 300AH에는 기판 온도 및 입자 균일성을 최적화하는 정교한 진단이 포함되어 있습니다. 자동 노즐 포지셔너 (nozzle-positioner) 를 제공하여 정확한 이온 이식뿐만 아니라 균일 한 용량을 보장하여 이온의 처리량을 증가시킵니다. 이 기계는 또한 과다 복용 (over-dosing) 이나 다른 고에너지 입자 (signitive particle) 로 인해 중요한 부품에 대한 우발적 손상을 방지하기 위해 제외 구역 (exclusion zone) 과 같은 많은 안전 기능을 가지고 있습니다. 300AH 이상 (Exceed 300AH) 은 반도체 장치의 이식 (implantation) 을 포함하여 다양한 응용 프로그램에 대해 정확한 이온 이식 작업을 완벽하게 제어하도록 설계되었습니다. 이온 임플란테이션 (ion implantation) 작업에 탁월한 수준의 프로세스 제어 및 정확성을 제공하는 안정적이고 고급 장치입니다.
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