판매용 중고 NISSIN Exceed 2300AH #293639237
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ID: 293639237
빈티지: 2003
Ion implanter
End station
B/L
(2) Plates, shield door
Red box
(4) Load ports
(2) Shield walls
B/L door
Pump rack, shield upper
PC rack, axcel tube
Accessory
Transfer
Missing parts:
Main body
Dry pump
2003 vintage.
NISSIN Exceed 2300AH (NISSIN Exceed 2300AH) 는 고성능 이온 임플랜터이며 다양한 기판에 이온을 정확하게 임플란트하는 데 사용되는 모니터입니다. 2300AH를 초과하면 중화기 및 충전 교환 장비를 사용하여 공간 정확도가 높은 3 차원, 균일 한 입자 필드를 만들어 고차단 및 고정밀도 이온 임플란테이션을 생성합니다. 최대 300 KV의 높은 가속 전압은 매우 정밀한 제어를 가능하게하며 낮은 에너지 확산을 가능하게합니다. NISSIN Exceed 2300AH (NISSIN Exceed 2300AH) 에는 그림자를 최소화하는 최적화된 소스 및 대상 형상이 있으며, 안정적이고 일정한 이온 빔을 보장하기 위해 2 개의 넓은 이온 소스가 장착되어 있습니다. 빔은 시스템에 최소 이온 오염을위한 충전 중화 기능이 포함되어 있습니다. 통합 빔 형성 장치는 더 넓은 균질 영역에서 균질 한 빔 특성을 보장합니다. 이 기계에는 빔 지름을 측정하고 빔 프로파일을 계산하는 CCD 카메라 (CCD Camera) 도 있습니다. 또한, Exceed 2300AH에는 기판 표면의 작은 이온의 결함 및 기타 불규칙성을 감지하도록 설계된 FESEM (Field-Emission Scanning Electron Microscope) 이 있습니다. NISSIN Exceed 2300AH (NISSIN Exceed 2300AH) 는 광범위한 에너지, 용량 및 표면 영역에 이온을 이식 할 수 있으므로 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 도구는 또한 특정 응용 프로그램에서 매우 유용한 용량 (dose-rate) 튜닝을 허용하도록 설계되었습니다. 초과 2300AH (Exceed 2300AH) 의 제어 장치는 효율적이고 효과적인 임플랜테이션을 위해 모든 조건을 생성하도록 설계되었습니다. 에셋은 최적의 성능과 다양한 매개변수를 제어할 수 있는 기능 (영문) 을 제공하도록 설정되어 있습니다. 마지막으로, NISSIN Exceed 2300AH는 사용자 친화적이며 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 포함합니다. 또한, 시설의 다른 구성 요소와 통신 할 수있는 포괄적인 네트워크를 제공합니다. 2300AH 를 초과하면 강력한 소프트웨어와 하드웨어를 제공하여, 플랜트 운영을 최고 효율과 정확도로 보장합니다.
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