판매용 중고 NISSIN Exceed 2000A #293738565

NISSIN Exceed 2000A ion implanter and monitor는 반도체 업계에서 널리 사용되는 인상적인 기계입니다. 이온 임플란터 (ion implantation accuracy) 가 가장 높은 고급 이온 임플란터 (advanced ion implanter) 로, 샘플의 서브어페이스 프로파일을 정확하게 제어하여 최고 품질 표준을 충족시킬 수 있습니다. NISSIN EXCEED 2000A의 높은 빔 전류는 최대 5000 (A) 이며, 정확도와 속도로 낮은 도펀트 농도와 높은 도펀트 농도를 모두 달성 할 수 있습니다. 넓은 에너지 범위는 100 eV ~ 45 keV의 이온 임플란트를 최대 10eV의 동적 에너지 범위로 허용합니다. 이것은 간단한 Si 도펀트에서 고급 III-V 복합 반도체에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 가능하게합니다. 2000A를 초과하면 빠른 병렬 빔 스캐닝 시스템이 제공되므로 최대 198 mm/min의 속도와 더 나은 빔 라인 안정성을 위한 탁월한 차폐가 가능합니다. 다른 기능으로는 정밀 전동식 소스 섹션과 메쉬 플레이트 (mesh plate) 가 있으며, 이는 다양한 기울기 각도와 정렬에 필요한 시간 없이 최대 ± 30 ° 의 디플렉터 각도를 제공합니다. 엑시드 2000 A (EXCEED 2000 A) 의 최신 디지털 가스 패널은 지속적인 가스 흐름 및 대량 흐름 컨트롤러와 함께 높은 정확도로 임플란테이션 속도를 조절합니다. 또한 개선 된 뒷면 충전과 더 나은 균일 성을위한 질소 (N2) 제거 시스템도 포함됩니다. 자동화된 프로세스 모니터링을 포함하여 프로세스 제어가 향상됩니다. 여기에는 필라멘트의 온도 조절, 빔 전류, 가속 바이어스, 압력 진공 및 가스 흐름이 포함됩니다. 이러한 변수는 변동 양이 가장 적은 균일 한 최종 제품을 유지하는 데 도움이됩니다. NISSIN Exceed 2000A (NISSIN Exceed 2000A) 는 기계 운영자의 최소한의 노력으로 수행되는 라이프 사이클 유지 관리 작업으로 유지 관리가 용이합니다. 또한 사용자 친화적 인 디자인 (user-friendly design) 을 통해 초보자 (novice) 에서 숙련된 기술자에 이르기까지 누구나 쉽게 사용할 수 있습니다. NISSIN EXCEED 2000 이온 임플란터 및 모니터는 반복 가능한 결과를 얻을 수있는 정말 놀라운 기계입니다. "하이빔 '의 전류, 동적" 에너지' 및 주사 속도, 정확성 및 사용 편의성 을 지닌 이 "머신 '은 반도체 산업 의 필요 를 충족 시킬 수 있는 가장 좋은 기계 중 하나 이다.