판매용 중고 NISSIN Exceed 2000 #9134046

NISSIN Exceed 2000
ID: 9134046
웨이퍼 크기: 8"
Medium current ion implanters, 8".
NISSIN Exceed 2000은 생산 요구 및 연구 응용프로그램을 위해 특별히 설계된 혁신적인 이온 임플란터 및 모니터입니다. 이 독특한 장비는 뛰어난 빔 전송, 균일성 및 용량 정확도 제어를 제공합니다. 이 시스템은 2 축 스캔을 통합하고 독점적 인 '3D 셀 (3D Cell)' 노즐을 사용하여 웨이퍼를 슬라이싱 및 다이킹하여 입자 파편과 교차 오염을 줄입니다. Exceed 2000은 일반 엔지니어링에서 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 나노 기술 (nanotechnology) 에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에 일반적으로 사용되는 제조 장비입니다. NISSIN Exceed 2000의 단일 개체 빔 유닛은 작은 영역 및 넓은 영역 이온 임플란테이션에 대한 뛰어난 정확도를 제공합니다. 단일 소스 빔 (single source beam) 은 누적 된 오차 및 정렬을 최적화하여 웨이퍼 표면의 입자 오염을 절대 최소한으로 유지합니다. 이 기계는 다양한 모양의 임플란트와 사다리꼴 (trapezoidal) 및 원형 (circular) 모양의 임플란트를 허용하는 조절 가능한 빔 스캔 배열을 제공합니다. 2000을 초과하면 이온 빔 매개 변수를 단단히 제어하여 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. 예를 들어, 공구의 별도의 가속 전/후 단계 (pre-accelerating stage) 를 사용하여 임플란트의 모양과 용량 균일성을 미세 조정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 빠른 자동 조정 기능, 프로그래밍 가능한 경사 (programmable bevel), 자동 로딩 암 (automated loading arm) 과 같은 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이것은 도전적인 프로세스 레시피에 최적의 빔 특성을 보장합니다. NISSIN Exceed 2000은 강력한 모션 컨트롤 모델과 이식 성능을 위한 실시간 모니터링 제품군으로 설계되었습니다. 특허를받은 고감도 입자 센서는 오염과 비정상적인 용량의 빠른 감지를 보장합니다. 또한, 통합 오류 감지 체계는 이식 된 웨이퍼를 자동으로 거부하고 추가 임플란테이션에서 일시 중단하여, 일관되게 높은 품질의 결과를 보장합니다. 2000 을 초과하는 경우 고급 컴퓨터 액세서리와 통합하여 추가 모니터링을 수행할 수도 있습니다. 고급 PC 제어 인터페이스를 통해 운영자는 쉽고 빠르게 수정 조치를 취할 수 있습니다. 이 장비는 또한 다양한 보고/진단 도구를 제공하며, 이는 연구/개발 목적에 필수적입니다. 또한 NISSIN Exceed 2000을 사용하면 연산자가 다른 매개 변수를 조정하여 각 응용 프로그램의 이식 효율성을 최대화할 수 있습니다. 전반적으로 Exceed 2000은 정확하고, 효율적이며, 고품질 이온 임플란테이션과 모니터링에 이상적인 시스템입니다. 프로젝트 단순화, 수익률 극대화, 제조 부품/장치 위험 최소화 등 독보적인 기능을 제공합니다.
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