판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 420 #293820035

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420은 이식 중 방출되는 이온의 입자 농도를 일관되고 정확하게 제어하도록 설계된 혁신적인 이온 임플란터 및 모니터 장비입니다. 이것은 거의 실시간 감지 기반의 통합 모니터링 및 제어 플랫폼 (Unified Monitoring and Control Platform) 을 혁신적으로 사용하여 수행됩니다. 이 플랫폼의 도움으로, 시스템은 이온 농도의 변화를 신속하게 감지하고, 그에 따라 작동 매개변수를 조정할 수 있습니다. KLA TP 420은 원하는 임플란테이션 프로파일에 더 잘 맞도록 맞춤형 이온 (ion) 의 고출력, 중에너지 빔을 사용합니다. 이것은 빔 전류 (beam current), 크기 (magnitude) 및 대상 샘플에 도달하는 데 걸리는 시간을 제어함으로써 수행됩니다. 또한, 이 장치는 자동 튜닝 (automated tuning) 및 열 보상 (thermal compensation) 을 사용하여 빔을 보다 정확하게 제어하여 원하는 이식 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 또한 TENCOR TP 420 에는 이식 프로세스를 쉽고 경제적으로 만드는 여러 가지 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이식 된 대상의 고해상도 이미지를 생성하기 위해 사용되는 고해상도, 단일 톤 (single-tone) 의 x-ray 소스를 제공하여 정렬이 잘못되어 부정확한 임플랜테이션의 위험을 줄입니다. 이 기계는 또한 임플란테이션 프로세스 (implantation process) 를 원격 모니터링 및 제어할 수 있는 컨트롤 콘솔 (Control Console) 을 포함하고 있어 워크스테이션을 종료하지 않고도 임플란테이션 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 THERMA-WAVE TP 420은 여러 가지 정교한 안전 기능을 자랑합니다. 방사선 보호 시스템 (Radiation Protection System), 냉각 도구 (Cooling Tool) 및 시각적 보상 자산 (Visual Compensation Asset) 이 포함된 이러한 기능은 모델이 안전하고 효율적으로 작동하도록 보장합니다. 이 장비에는 긴급 셧다운 (Emergency Shutdown) 스위치가 장착되어 있어 인근에서 근무하는 모든 인력의 안전을 보장할 수 있다. 전반적으로, TP 420은 이온 임플란테이션의 정확하고 정확한 제어를 위해 엄청나게 혁신적이고 고급 도구입니다. 이 시스템은 반도체 장치 제작 및 증착, 기타 이온/표면 기반 응용 프로그램 (예: 응용 프로그램) 에 적합합니다. 또한, 고급 기능과 다재다능성으로 인해 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 420은 다양한 산업 및 연구 실험실에서 필수적인 도구가되었습니다.