판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293666901

ID: 293666901
Ion implanter.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400은 반도체 웨이퍼 및 칩을위한 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 반도체 업계의 장치 제조업체에 이온 빔 이식 서비스 (ion beam implantation service) 를 공급하며, 주요 기능은 프로세스 개발 및 생산 운영에 빠르고 경제적입니다. KLA TP 400 시스템은 고 에너지 다이오드 소스를 사용하여 단일 충전 이온을 생성 및 제어하여 예측 가능한 용량 프로파일을 형성합니다. 또한 다양한 빔 소스를 지원하므로 엔드 포인팅 (end-pointing) 및 미세한 임플란테이션 (microscopic implantation) 을 포함한 다양한 응용 프로그램이 가능합니다. 첨단 "가스 '원자로 는" 이온' 종 을 수집, 저장, 분배 하여 여러 가지 과정 을 위해 장치 를 "프로그램 '할 수 있게 한다. 이 기계는 최신 이온 이식 (ion implantation) 기술을 갖추고 있으며, 최첨단 웨이퍼 모니터링 및 제어를 보장합니다. 동시 기판 모니터링 및 균일성을위한 고속 스캔 도구가 있습니다. 또한 x, y 및 z 축으로 웨이퍼를 정확하게 정렬하는 입자 프레임 드라이브 (particle-frame drive) 와 여러 웨이퍼의 고속 및 정밀 임플랜테이션을위한 빠른 전송 에셋 (transport asset) 이 있습니다. 이 모델은 에너지 효율성이 높으며 최고의 웨이퍼 (wafer) 작동을 위한 저렴한 솔루션을 제공합니다. 효율적인 다중 증기 전달 장비와 고급 프로세스 시뮬레이션 기능을 갖추고 있습니다. 로봇 로딩 및 로봇 언로딩 시스템은 고속, 정밀한 저장 및 처리를 제공합니다. KLA advanced TENCOR TP 400 ion implanter and monitor 시스템은 업계 최고의 성능과 신뢰성을 자랑합니다. EMC 의 독보적인 기능은 운영 수준의 결과와 비용 효율적인 솔루션에 이상적인 선택입니다. 이 장치는 작동과 유지 보수가 용이하며, 고속 스캐닝 및 정밀 이온 제어를 통해 이온 임플란테이션 (ion implantation) 프로세스를 가속화합니다. 고급 장비 (Advanced Equipment) 는 사용자가 가장 효율성이 큰 웨이퍼와 칩을 생산할 수 있도록 합니다.
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