판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT는 반도체 장치의 미세 구조 변화를 만드는 데 사용되는 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이것은 물질에 제어 된 양의 전하 운반체 (전자 또는 이온) 를 도입함으로써 달성된다. 이온 임플란터는 일반적으로 고급 반도체 장치 및 집적 회로 제조에 사용됩니다. KLA LSS-20SLAT는 선형 가속기를 사용하여 충전 캐리어를 재료에 주입합니다. 이온 빔 (ion beam) 은 다 요소 자석 시스템에 의해 균일 한 에너지 빔으로 형성되고 초점을 맞춘다. 이것 은 물질 에 증착 되는 "에너지 '의 양 을 정확 히 조절 한다. 이 장치는 20-250 KeV 범위의 에너지로 빔을 생성 할 수 있습니다. TENCOR LSS-20SLAT에는 충전 (charge) 캐리어의 임플란테이션을 감지하는 매우 민감한 모니터가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 정확하고 정확한 도핑 제어가 가능합니다. 기계는 수소, 산소, 질소 및 기타 희귀 원소를 포함한 65 가지 가스를 감지 할 수 있습니다. LSS-20SLAT는 또한 이온 빔 균일성과 정확성을 향상시키기 위해 고급 저압 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 이 툴은 매우 유연하며, 특정 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 및 배치 모드 임플란테이션에 모두 사용할 수 있습니다. THERMA-WAVE LSS-20SLAT는 가장 사용자 친화적이고, 정확하며, 신뢰할 수있는 이온 임플란터로 반도체 업계에서 널리 수용되었습니다. R&D 애플리케이션뿐만 아니라 대용량 생산에서도 입증되었습니다. 이 자산은 신뢰성, 정확성, 유연성 및 성능으로 부러워하는 명성을 얻었습니다. 결론적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT는 고급 이온 임플란터 및 모니터 모델로, 연구 및 생산 수준의 운영에 높은 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 이 장비의 유연한 구성과 최첨단 기술로 인해 반도체 어플리케이션에는 탁월한 선택이 가능합니다.