판매용 중고 HITACHI IP825A #293630417

HITACHI IP825A
ID: 293630417
Ion implanter.
HITACHI IP825A는 마이크로일렉트로닉 장치 제작 프로세스에서 효율적이고, 고정밀 이온 임플란테이션 및 모니터링을 위해 설계되었습니다. 장비 콤보 세트는 2 개의 모듈 (이온 임플란터 및 방사선 모니터) 으로 구성됩니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치에 대한 최고의 성능 이온 임플랜테이션 및 모니터링을 제공하는, 신뢰성이 높은 IP825A는 기존 시스템에 비해 매우 높은 동적 범위 (dynamic range) 로 고정밀 임플랜테이션에 도달할 수 있습니다. 1: 500의 인상적인 해상도와 최대 120 °/s의 스캔 속도가 특징입니다. 이를 통해 보다 효율적인 이식 프로세스와 더 나은 수율 전달이 가능합니다. 이온 임플란터 모듈은 이온 에칭뿐만 아니라 Ar +, Xe +, Ni +, O +, B + 및 N + 입자의 이식 등 다양한 프로세스를 용이하게합니다. 또한 이식으로부터 하전 입자를 줄이는 충전 보상 시스템이 내장되어 있습니다. 한편, 방사선 모니터 모듈은 착상 상태를 지속적으로 모니터링하고 품질 (Quality) 성능을 보장하여 고정밀 환경을 유지하는 데 도움이 됩니다. 스캐닝 창 크기는 최대 12mm (scanning window size) 로 입자 빔 매개변수를 보다 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 장치 맵을 사용하여 빔 각도 (beam angle), 빔 스팟 크기 (beam spot size) 등을 분석 및 모니터링합니다. 또한 기계는 하나의 유연한 프로그램에서 두 기기를 모두 제어합니다. 따라서 Implantation Tool의 매개변수를 쉽게 조작할 수 있고, 모니터링되는 데이터를 실시간으로 동시에 분석할 수 있습니다. 자산은 또한 데이터를 저장하고 체계적으로 리콜 할 수 있습니다. 이 모델에는 임플란트의 제어 및 모니터링을 단순화하는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 있습니다. 4.3형 컬러 LCD 패널은 빠르고 쉽게 볼 수 있도록 설계되었습니다. 또한 장기적인 신뢰성을 위해 설계되었으며 90 일의 대기 주기를 자랑합니다. HITACHI IP825A 콤보 세트는 광범위한 마이크로 일렉트로닉 장치 제작 프로세스에 적합합니다. 고급 기능과 사용자 친화적인 작업을 통해 효과적인 모니터링 및 이식 작업을 수행할 수 있습니다. 이는 품질 결과와 처리량 향상을 보장합니다.
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