판매용 중고 AXCELIS Optima MD #9377001

AXCELIS Optima MD
ID: 9377001
Ion implanter, 12" 2007 vintage.
AXCELIS Optima MD 이온 임플란터는 세계에서 가장 진보된 이온 임플란터 및 모니터입니다. 생산성 향상, 생산성 향상, 비용 절감 효과를 제공하도록 설계되었습니다. 매우 정교한 이 툴은 높은 처리 능력과 강력한 프로세스 제어를 제공합니다. Optima MD는 우수한 임플란트 결과를 위해 높은 가속 전압 및 높은 빔 전류를 제공합니다. 고급 엔드 스테이션 (End-Station) 전원 공급 장치는 용량 균일성이 항상 가장 까다로운 어플리케이션에 대해 유지되도록 합니다. 컴팩트한 설계를 통해 가장 제한된 공간에서도 가동 시간과 유연성을 극대화할 수 있습니다 (영문). AXCELIS Optima MD는 또한 특허를 받은 Pro-Monitor (TM) 시스템을 갖춘 독보적인 모니터 장비를 제공합니다. 이 시스템은 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하고 프로세스 이동을 감지할 수 있습니다. 즉, 장치가 반복 가능한 고품질 임플란트를 출력하도록 합니다. Optima MD는 매우 높은 생산성과 최고의 프로세스 재생성을 위해 설계되었습니다. AXCELIS Optima MD 의 독보적인 프로세스 제어 장치는 프로세스 불안정성을 감지하기 위한 지속적인 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 이 기계는 뛰어난 스퍼터 (sputter) 수율과 향상된 입자 제어를 제공하여 장치를 가장 정확하게 이식 할 수 있습니다. Optima MD에는 Opticore ™ 전류 모니터 및 Modemission ™ 빔 모양 모니터를 포함한 최신 기술 (이온 빔 진단 도구) 이 장착되어 있습니다. 이러한 고급 도구를 사용하면 처리 시간이 단축되고 프로세스 제어가 향상됩니다. 마지막으로 AXCELIS Optima MD 는 진정한 플러그 앤 플레이 기능을 제공하여 신속하게 설치 및 구축할 수 있습니다. 종합적인 진단/프로세스 (diagnostic/process) 소프트웨어 제품군과 결합된 사용자 친화적 운영 툴은 모든 환경에 원활한 통합을 보장합니다. 사용자 인터페이스를 사용하면 이식 매개변수를 쉽게 탐색하고 이해할 수 있습니다. 요약하자면, Optima MD는 탁월한 프로세스 제어 기능, 높은 처리량, 탁월한 임플란트 균일성을 갖춘 고급 이온 임플란터입니다. 다양한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 는 빠른 응답 및 향상된 제품 수율을 위한 모든 프로세스 불안정성을 감지하도록 설계되었습니다. 또한 사용자는 AXCELIS Optima MD 의 플러그 앤 플레이 기능과 사용자에게 친숙한 인터페이스를 즐길 수 있습니다.
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