판매용 중고 AXCELIS Optima MD #293723865

AXCELIS Optima MD는 AXCELIS Technologies에서 제조한 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 이 시스템은 반도체 공장에서 소형 반도체 장치를 에칭 및 도핑하는 데 사용됩니다. 높은 수율, 낮은 TCO, 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. Optima MD는 16GB 메모리의 Intel Core i7 프로세서를 실행하는 MSX 컨트롤러로 구동됩니다. 주요 구성 요소로는 처리량이 최적화된 자동 웨이퍼 처리 장치, 전동 웨이퍼 전송 암 (Motorized Wafer Transfer Arm), 빔 접근 어셈블리 및 자동 빔 스티어링 기능이 있습니다. 매우 효율적이며 최대 90 WPH의 속도를 달성 할 수 있습니다. AXCELIS Optima MD에는 최대 6 x 10 ^ 15 이온/cm2의 목표 피크 용량을 제공 할 수있는 강력한 이온 임플랜터가 장착되어 있습니다. 매우 효율적인 전자 급지대 (electronic feeder machine) 는 매우 재현 가능한 공정을 통해 높은 정확도를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 별도의/이중 이온 소스 시스템이 필요하지 않은 다양한 이온 에너지를 제공 할 수 있습니다. Optima MD에는 강력한 실시간 모니터링 도구가 있습니다. 모든 이상 (anomalies) 또는 예기치 않은 이벤트 (event) 를 감지하여 사용자에게 중요한 데이터와 경고를 제공할 수 있습니다. 프로세스 데이터는 FTP 파일에 저장하여 향후 검토 및 분석할 수 있습니다. 또한 AXCELIS Optima MD에는 고유한 3 차원 빔 프로파일 기능이 있습니다. 이를 통해 사용자는 실제 빔 프로파일 (beam profile) 을 보고 빔 정렬을 적절히 조정하여 이상적인 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 통합 프로세스 분석 소프트웨어는 프로세스를 신속하게 식별하고 제품 변형을 줄이는 데 도움이 됩니다. Optima MD는 다운타임을 최소화하는 강력하고 안정적인 자산입니다. 매우 안정적인 진공 (vacuum) 모델을 사용하여 제품 다운타임을 줄여줍니다. 이 장비는 또한 저전력 DC 구동 이온 소스를 사용하여 고용량을 제공합니다. AXCELIS Optima MD는 고수율, 비용 효율적인 제조를 위한 이상적인 임플랜터 및 모니터 시스템입니다. 효율적이고 사용이 간편한 인터페이스, 강력하면서도 신뢰성 있는 컴포넌트로 인해 반도체 플랜트에 적합한 선택이 됩니다 (영문).