판매용 중고 AXCELIS Optima MD #293628043
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판매
ID: 293628043
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Ion implanter, 12"
Medium current implant
Injector
Target positioning or scanning system
CIM: GEM
Gas box
Factory interface: (4) FOUP
Charge control: PLASMA Flood gun, 12" (HP Xe DIN 6 Connection)
End station
Handler system:
AXCELIS Vacuum robot
YASKAWA XU-RC400M-A00 Robot ATM
Linear scan system
CTI Cryo pump system:
IS8
(2) IS250
(2) IS320
(2) PFEIFFER Turbo pumps TMH 1201 for beamline
(2) BUSCH BC100 Rough pumps source or LL+ Transfer
(6) String lines:
Line 1: HP Argon VCR 1/4"
Line 2: SDS PH3 VCR 1/2"
Line 3: SDS AsH3 VCR 1/2"
Line 4: SDS BF3 VCR 1/4"
Line 5: SDS GeF4 VCR 1/4"
Line 6: HP Xe DIN 6
AFFINITY Chiller
(2) CTI Cryo Compressors
2006 Vintage.
AXCELIS Optima MD는 이온 임플랜터이며 디지털 및 아날로그 기능을 모두 갖춘 모니터입니다. 이 기계 는 여러 산업 분야 에서 반도체 "웨이퍼 '처리 에 도움 이 되도록 설계 되었다. 유연성과 정확성은 오늘날의 웨이퍼 제작 프로세스에 특히 적합합니다. Optima MD는 이온 이식, 유리 증착, epitaxial 성장과 같은 광범위한 프로세스를 제공합니다. 경이온과 중이온을 모두 이식 할 수 있으며, 최대 200 keV의 다양한 에너지 범위와 최대 2x1016 ion/cm2의 용량에 사용될 수 있습니다. 또한 다양한 wafer 요구 사항에 맞는 다양한 소스 옵션을 제공합니다. 또한, 기계는 자동 웨이퍼 정렬과 함께 임플란트 정확성을 보장하기 위해 온보드 엔드 포인트 검출 시스템 (On End Point Detection System) 을 갖추고 있습니다. 임플란터의 디지털 기능은 쉽고 포괄적 인 레시피 제어를 제공합니다. GUI 기반 모니터/제어 패키지를 사용하면 다양한 레시피에 액세스하고, 개별 프로세스에 맞게 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 진단 유틸리티와 실시간 데이터 디스플레이가 있는 경고 (alarm) 및 상태 (status) 패널도 포함되어 있습니다. AXCELIS Optima MD에는 견고한 스테인리스 스틸 하우징과 제어 플랫폼이 제공됩니다. 또한 다양한 부속품 및 구성 요소 (예: 이온 빔 스캐닝 시스템, 프로세스 제어 모듈) 를 제공합니다. 이 시스템은 경험이 제한적인 직원들도 쉽고 직관적으로 운영할 수 있도록 설계되었습니다. Optima MD는 이온 이식 처리를 위해 포괄적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 유연성 있는 디자인, 견고한 디지털 플랫폼, 다양한 기능 덕분에 가장 효율적이고 정확한 시스템 중 하나입니다 (영문). 또한, 사용하기 쉽고 설치하여 모든 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스를 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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