판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS xR200 #9032623

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ID: 9032623
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Implanter, 8" Power supply specification: Pre-accel: Max 60 KV Post-accel: Max 160 KV Each gas module type: BF3 high pressure gas bottle P SDS gas bottle As SDS gas bottle Bernas source PFG type: HD PFS Wheel type: 8" (1 batch 17 wafers) Direct drive Currently installed 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR200은 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 반도체· 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 업계에서 반도체 부품의 생산에 필수적인 과정인 이온이식 (ion implantation) 을 만들고 모니터링하는 데 사용된다. AMAT xR200은 높은 처리량과 고효율 이온 임플란테이션을 모두 제공하는 독립형 시스템입니다. 이 장치에는 이온 소스, 가속기 섹션, 감속기 섹션 및 조립 라인이 포함됩니다. "이온 '원 은 원하는" 이온' 의 종류 와 양 을 생산 하는 역할 을 하며, 이 "이온 '들 은" 가속기' 부분 을 따라 원하는 속도 와 "에너지 '로 가속 된다. 그런 다음 감속기 (decelerator) 섹션에 들어갑니다. 여기서 이온의 원하는 특성은 위치 및 용량 속도를 독점적으로 제어하도록 조작됩니다. 일단 원하는 특성 이 정해지면, 필요 한 "임플란트 '종 에 따라" 이온' 이 양수 또는 음수 "블랑켓 '용량 으로 조립선 에 주입 된다. 이식하는 동안 용량 (dose rate) 을 조정하여 사용자가 전체 기판에 대해 원하는 수준의 도펀트를 보유 할 수 있습니다. 그런 다음, 어셈블리 라인에서 이온을 모니터링하고 이식 매개변수를 조정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS xR200은 매우 정확하고 정확한 기계이며, 빔 전류의 0.1% 해상도입니다. 이 로 말미암아 "임플란트 '용량 을 극히 정확 하고 반복 하여 제어 할 수 있게 되며, 그 도구 는 넓은" 임플란트' 종 과 함께 사용 하는 데 적합 하다. 또한 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 온도 변화 하에서 뛰어난 안정성을 제공하여 용량 속도가 안정적이고 일정합니다. 또한 xR200에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 안전 인터 락 자산 (Safety Interlock Asset) 은 운영자가 초고속 충전 입자와 RF 에너지에 모두 실수로 노출되는 것을 방지하는 반면, 결함-안전 (Fault-Safe) 기능은 고장이 발생하면 모델이 종료됩니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS xR200은 정확하고 안정적인 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 높은 처리량, 고효율 작동을 통해 반도체, 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 생산 공정에서 사용할 수 있으며, 고급 안전 기능은 사용자에게 안심할 수 있습니다.
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