판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293816344
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AMAT/APPLIED MATERIALS xR120은 넓은 면적의 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터로, 다양한 산업 및 과학 요구 사항에 대해 정확하고 효율적인 성능을 제공합니다. AMAT xR120은 강력한 스퍼터 이온 소스 (sputter ion source), 통합 옵틱 (optic) 및 크고 읽기 쉬운 디스플레이를 갖추고 있어 모든 유형의 이온 이식 응용 프로그램에 적합합니다. 응용 재료 xR120 (APPLIED MATERIALS xR120) 은 고주파 전원 공급 장치를 사용하여 이온 빔을 생성하며, 이온을 이식 할 기판 재료를 향합니다. 빔 에너지는 일반적으로 30 ~ 120 keV 범위이며 빔 전류는 0.1 ~ 1000 µA 범위에서 조절 할 수 있습니다. 이 장비는 붕소, 질화물, 인 등 다양한 이온을 이식하는 데 사용될 수 있습니다. XR120에는 고해상도 위치 센서, 다중 이온 및 전자 검출기, 통합 전하 상태 모니터 (charge-state monitor) 를 포함하는 완전 통합 모니터 시스템도 포함되어 있습니다. 모니터 유닛은 이온 이온 이식 공정의 정확한 제어 및 조정을 가능하게하며, 이온 용량, 각도 분포 및 빔 위치를 자동으로 미세 조정할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS xR120은 웨이퍼 스케일 이식, 마스크 기반 이식, 순차 또는 로컬 이식 등 다양한 이식 프로세스에 적합합니다. 이 장치는 우수한 수준의 균일성에 도달 할 수 있으며, 이온 확산이 적은 이온 확산 (implantation procedure) 에 이상적입니다. AMAT xR120은 안정적이고 효율적인 이온 임플랜터와 모니터가 필요한 사용자에게 이상적인 장치입니다. APPLIED MATERIALS xR120 은 이온 임플란테이션 (ion implantation) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 통합 모니터 머신은 프로세스가 안전하고 효율적이며 반복 가능하도록 합니다. 이 장치는 정확성과 신뢰성이 가장 중요한 산업 또는 연구 응용에 적합한 선택입니다.
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