판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293627742

AMAT / APPLIED MATERIALS xR120
ID: 293627742
웨이퍼 크기: 8"
High current implanter, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS xR120 ion implanter and monitor는 다양한 이온을 기판에 이식할 때 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 첨단 차세대 기술입니다. 이 장비는 RF (무선 주파수) 선형 모터, 고전압 발전기, 디지털 제어의 조합을 사용하여 임플란테이션 프로세스를 정확하게 제어하고 정확하고 반복 가능한 성능을 제공합니다. AMAT xR120 이온 임플란터는 높은 에너지에서 최대 120KW의 속도를 이식 할 수있는 단일 평면, 고전류 시스템입니다. 이 장치는 고전압 발전기 (High-Voltage Generator) 를 사용하여 표면과 소스 사이에 전위차를 생성하여 이온을 매우 높은 속도로 이식 할 수 있습니다. 이 과정에서 APPLIED MATERIALS xR120의 고정밀 이온 제어 시스템 (high-precision ion control systems) 은 빔 에너지, 전류, 용량 및 기타 요소를 측정하고 모니터링하여 이식 과정의 정확성과 반복성을 보장합니다. xR120에서 사용하는 고급 RF 선형 모터 기술은 정확하고 정확한 이온 빔 포지셔닝 및 제어를 보장합니다. 이 기술은 이온 빔 (ion beam) 의 기울기 및 위치를 제어하는 데 사용되며, 기판에 정밀한 용량의 정확한 임플랜테이션을 허용합니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS xR120은 또한 정확한 레이저 및 광학 빔 제어 메커니즘을 사용하여 잔여 이온의 정확한 임플란테이션과 정확한 정리를 보장하며, 기판에 균일하고 균일 한 이온 층을 제공합니다. 정확한 이식 및 제어 외에도 AMAT xR120은 탁월한 모니터링 기능을 제공합니다. 이 기계는 자동 모니터링 플랫폼 (automated monitoring platform) 을 사용하여 이식 프로세스 전반에 걸쳐 온도, 압력 및 기타 매개변수를 지속적으로 모니터링하며, 이식 경험이 일관되도록 운영자에게 피드백을 제공합니다. APPLIED MATERIALS xR120 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터는 기판에 다양한 이온을 정확하고 반복적으로 임플란트하도록 설계된 강력한 최첨단 도구입니다. 고급 RF 선형 모터 기술, 고정밀 이온 제어 시스템, 정밀한 레이저 및 광학 빔 제어 메커니즘, 자동 모니터링 플랫폼 등이 모두 함께 제공되므로 xR120은 임플랜테이션 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.
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