판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / VARIAN Solion XP #9211008
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판매
ID: 9211008
빈티지: 2012
Ion implanter
Max energy: 15 keV-PH3/H2
(16) Wafers on platen clamp on electrostatics E-chucks
(8) Loadports
(2) WTM (Wafer transfer module)
(4) Loadlocks (2 Per belts)
Transfer chamber
With (2) robots
Implantation chamber
Source chamber
Spare parts included
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion XP는 집적 회로에서 코팅 자동차 부품에 이르기까지 다양한 어플리케이션을 위해 고정밀 임플란트를 생산하도록 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 고급 임플란터/모니터 (Advanced Implanter/Monitor) 는 다양한 빔 전류 및 용량에서 이온 임플랜트를 생성하여 매우 정밀한 임플란트를 생성 할 수 있습니다. AMAT Solion XP에는 신호 격리 및 노이즈 감소를위한 디지털 신호 처리, 정확한 임플란트 배치를위한 고정밀 디지털 스테이지, 최고 수준의 프로세스 제어를 위한 스위칭 및 제어 시스템 (switching and control system) 이 포함됩니다. VARIAN Solion XP는 다양한 빔 전류 및 용량에서 임플란트를 생성 할 수 있습니다. 이를 통해 연산자는 임플란트의 용량, 배치 및 순도 (낮은 크기 임플란트) 에서 수천 개의 KEV/Gauss의 고급 임플란트에 이르기까지) 를 제어 할 수 있습니다. 이 정밀도는 또한 임플란트 영역 (implant area) 내의 특정 레이어 또는 컴포넌트를 대상으로 하는 임플란트를 허용하여 보다 세련된 임플란트 (implant) 및 향상된 장치 성능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Solion XP는 매우 정밀하게 임플란트를 생산할 수있는 기능 외에도 업계 표준 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 빔 전파 (beam propagation) 와 초점 (focus) 을 모니터링하고, 실시간으로 빔 매개변수를 관리, 조정하여 최상의 임플란트 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 이 사용자 인터페이스 (user interface) 는 전체 공구 상태에 대한 실시간 모니터링을 제공하며, 운영자가 공구 상태를 확인하고 문제가 없는지 확인합니다. 또한, Solion XP에는 확장 가능한 메모리 기능이 포함되어 있어 임플란트 작업 (Implant Work-Pieces) 을 위해 사실상 무제한 저장 용량을 사용할 수 있습니다. 즉, 더 큰 조각과 여러 조각을 적재 할 수 있으므로 연산자가 이온 이식 (ion implantation) 과정을 완전히 제어할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/VARIAN Solion XP는 강력하고, 다재다능하며, 신뢰할 수있는 이온 임플란터/모니터로, 다양한 빔 및 용량에서 매우 정밀한 임플란트를 생성 할 수 있습니다. 업계 표준 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 임플란테이션 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있으며, 이를 통해 매우 정확한 제품을 얻을 수 있습니다. 또한 확장 가능한 메모리 기능을 통해 여러 개의 작업 (work-pieces) 을 로드할 수 있으며, 스토리지 용량이 거의 무제한입니다.
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